• 特長
  • 仕様
  • アプリケーション
  • 関連製品
  • more info

特長 STRONG POINT

JPS-9030 光電子分光装置(XPS)
日本語環境で操作できる新設計のユーザーインターフェースを採用し、「誰もが、簡単に、直ぐに使えること」を実現しました。また、カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。

nmからμmまで幅広い目的に対応したデプスプロファイル(深さ方向分析)が可能

新開発カウフマン型エッチングイオンソースにより、エッチングレートが1nm/min~100nm/min (SiO2換算)と幅広い設定が可能となり、表面の清浄化はもちろんのこと、精密さを必要とする測定からスピード重視の測定まで、あらゆる目的に対応したデプスプロファイルが可能となりました。
また、イオンソースを試料交換室に搭載することにより、測定室内を汚さない高いメンテナンス性を実現しました。

使いやすさを追求した新開発ソフトウェア

日本語に対応した新開発ソフトウェアSpecSurf Ver.2.0は、リボンインターフェースとタブウィンドウシステムの組み合わせにより、マウスのみによるユーザーフレンドリーな操作環境を提供します。
また、JEOL独自の自動定性機能により、複数の測定位置における定性・定量および化学状態分析がシーケンシャルに実行可能です。

ハイエンド機に匹敵する超高感度

角度分解測定法(ARXPS)や全反射測定法(TRXPS)に対応しており、1nm(標準測定法6nm以上)以下における極表面をハイエンド機にも匹敵する超高感度で分析できます。

豊富なオプション

  • エネルギー分解能を向上させる単色化X線源
  • ダメージを受けやすい有機物試料に適したArガスクラスターイオンソース
  • 1,000 °C 以上まで加熱可能な赤外線加熱システム
  • 非曝露試料に対応するトランスファーベッセル
    等の豊富なオプションを用意し、お客様のあらゆるニーズにお応えします。

仕様 SPEC

感度(Mg Kα、300W換算) 1,000,000cps以上(Ag 3d5/2の半値幅1.0eV時)
X線源 最大12kV、50mA、Mg/Alツインターゲット
入射レンズ 3段円筒型静電レンズ
エネルギーアナライザ 静電半球型アナライザ
エネルギー掃引方式 Constant Analyzer EnergyおよびConstant Retarding Ratio方式
検出器 マルチチャンネルプレート
エッチングイオン銃 高速カウフマン型
到達圧力 7×10-8 Pa以下
ベークアウトシステム 内部ヒータ組込み、自動制御

ギャラリー GALLERY

関連製品 RELATED PRODUCTS

インフォメーション MORE INFO

本製品・関連製品のキャンペーン

導入事例