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特長 STRONG POINT

Gatan 精密イオンポリシングシステムPIPS2
スタンダードモデルとして愛用されたPIPS™の基本性能及び操作性を画期的に向上させた新タイプの装置です。
 日常的な材料から、最先端材料まであらゆる状況で最高の試料作製を可能にし、操作はタッチパネルによるGUI方式を採用し、レシピ機能等も搭載され驚くほど迅速・容易に行えます。

10インチのタッチパネル式 『GUI』 ※

  • シンプルで使いやすいインターフェース
  • ベーシックユーザからハイレベルユーザまで満足
  • レシピ設定機能付き
  • 最適レベルのパラメータの測定・モニタリング・設定結果を表示
  • 補正及びビームアライメントをアシスト
  • 性能のモニタリング及び保守の為のマシン・ログを作成

※GUI=グラフィックユーザーインターフェース

改良されたガンの性能

  • 低エネルギー性能が画期的に向上
  • 高エネルギー性能エンベロープ拡大
  • 高精度な試料作製による良好なTEMデータ取得が可能

新しいX、Yステージ

  • 試料上の重要点を、回転・イオンビームの中心に設定できる
  • PIPS™IIカメラと関連付けた、非常に簡単なアライメント調整

冷却ステージ

  • 大容量デュアを採用し長時間の冷却加工が可能
  • -120℃まで冷却可能

Digital Micrograph® デジタルズームカメラ

  • 5メガピクセルデジタルカメラ
  • LED照明(2色)
  • DM取得、PCとPIPS™IIのリンク
  • 完全プログラム化可能-GUIまたはPCから-
  • Digital Micrograph® に保存された画像(1画像 / 回転画像)

仕様 SPEC

イオン源
イオン銃 低エネルギー集束電極  ペニング形イオン銃2式
ミリングアングル -10°~+10° 調整可能
イオンエネルギー 100eV ~8keV
イオン電流密度 1イオン銃あたり 10mA /㎠
ビーム軸合わせ 蛍光板を用いた精密なビームアライメント
ビーム調整 ガス流量か放電電圧にて調整
試料室
試料サイズ 3mm
試料回転 1~6rpm まで可変
試料取り付け 片面ポリシング用試料台/両面ポリシング用試料台
X,Y切換え範囲 ±0.5mm
試料観察 双眼顕微鏡、デジタルズームマイクロスコープ(オプション)
真空系
ドライポンプシステム 2ステージダイヤフラムポンプ(背圧)80L/秒
到達圧力 到達圧力6.6×10-4Pa、動作圧力1×10-3Pa
真空計 試料室 :冷陰極タイプ
試料交換 Whisperlok® エアロック方式(所要試料交換時間:1分以下)
外観など
寸法/重量 495mm(W) ×575mm(D) ×615mm(H) 45kg
電源 /使用電力 単相AC100V、50/60Hz、240W
ガス アルゴンガス :G1(99.9999%)推奨 設定圧力 :0.15MPa
 

液体窒素冷却ステージの仕様

冷却源 液体窒素
デュアーの容量 336mL
デュアーの保持時間 約6~7時間
コントローラ 設定温度をGUI操作・表示
ヒーター1 ステージの温度調整用(-120℃~+25℃)
ヒーター2 冷却したステージを室温戻し用
温度検出 シリコンダイオード
温度領域 -120℃~室温
試料冷却 -120℃まで可能

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