IBCは従来のコーティング(加熱蒸着、アーク二極放電、マグネトロンまたはRFスパッタリングなど)方法に代わる集束イオンビーム法による薄膜コーティング装置です。TEM、SEM用試料の表面に非晶質の薄膜を生成するために設計された、卓上型集束イオンビームコーターです。
特長
真空計 オイルフリー
ダイヤフラムポンプとターボを使用して 真空を上げてるので、オイルフリー
試料ホルダ
ロッキングアングル 0℃~90℃
ロッキングスピード 0℃~36℃/Sec
TEM用の試料を装着する為のホルダ付
膜厚計付
ターゲット 4種取付可能
カーボン/クロム/白金/白金パラジウム
仕様・オプション
電子銃 | |
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イオン源 | ペニングイオン銃(PIG™) 2式 |
イオンエネルギー | 1~10kV |
ガス | アルゴンガス 0.1mL/min/ガン
(他の不活性ガス使用可) |
ビーム径 | 約1mm |
イオン電流密度 | 最大10mA/cm2 |
真空系 | |
オイルフリーポンプ | 2段ダイヤフラムポンプと60L/sモキュレラドラックポンプ |
試料室エアロック | ウイスパーロック |
試料交換時間 | 30S以下、ガタン |
真空度 | |
ベース真空度 | 6.6×10-4Pa |
使用真空度 | 8×10-3Pa |
真空計 | ペニングタイプ/試料室、ソリードステート検出器/背圧 |
液体窒素トラップ | 最大10時間使用可能(オプション) |
コーティング | |
コーティングレート | |
カーボン(C) | 約0.05nm/s |
クロム(Cr) | 約0.15nm/s(at 10kV) |
試料ホルダ | 水平プラットホーム(通常SEM用15mmφ試料載台装着可) |
試料回転 | 360°(0~8rpm) |
試料傾斜 | ロッキング動作 最大90°または固定角度 |
ターゲットホルダ | 2つのターゲットを真空中に交互に交換可
待機中のターゲットはスパッタによるコンタミネーションから完全に遮蔽されています。 |
使用ターゲット | カーボン(C)/クロム(Cr) (標準)
カーボン、クロム、白金、金-パラジューム、インジューム、タンタル、タングステンが供給可能です。 第2ターゲットアッセンブリー(オプション) |
膜厚モニタ | 水晶膜厚モニタ(オプション) |
オプション | TEM用のサイドエントリー TEMアダプタ |
寸法とユーティリティ | |
外形寸法 | 560mm(幅)×480mm(奥行)×430mm(高さ) |
質量 | 38kg |
電源 | 275W 100AVC(100~280 VAC可) 50/60Hz |
ガス | アルゴン 純度99.998%以上、0.482MPa(70psi) |