MET-EtchはTEM、SEM試料用、イオンビーム精密エッチングシステムです。基本的なアプリケーションは、金属、合金やセラミック（セラマトグラフィー）の金属組織学の分野です。広い領域の物質をカバーして、サンプルの湿式化学エッチングに対する代替手段あるいは補足手段を提供します。また、洗浄やエッチングを必要とする多くのサンプルに、ケミカル処理とは違い、より適切な普遍的なエッチング技法を提供します。
もう一つのアプリケーションは、電子バックスキャター折パターン（EBSD）や、オリエンテーションイメージング顕微鏡（OIM）のためのSEMのサンプルを作製することです。一般的にこれらのタイプのサンプルは、表面の品質に対して非常に敏感です。
特長
均一なエッチングを保証するためのサンプルの回転とロッキングを提供するウイスパーロック機構
湿式薬品が不要
制御された優れた再現性
サンプリングの短縮
高サンプル処理能力
簡単で容易な操作
簡単で容易な操作
維持コストが安い
仕様・オプション
| 電子銃 | |
|---|---|
| イオン源 | ペニングイオン銃 1式 |
| イオンエネルギー | 1～10ｋV |
| ガス | アルゴンガス 0.1ｍL/min/ガン
（他の不活性ガス使用可） |
| ビーム径 | 約5mm（回転で約10mm） |
| イオン電流密度 | 最大10ｍA/cm2 |
| 真空系 | |
| オイルフリーポンプ | 2段ダイヤフラムポンプと60L/sモキュレラドラックポンプ |
| 試料室エアロック | |
| 試料交換時間 | 30s以下、ガタン ウイスパーロック |
| 真空度 | |
| ベース真空度 | 6.6×10-4Pa |
| 使用真空度 | 8×10-3Pa |
| 真空計 | ペニングタイプ/試料室、ソリードステート検出器/背圧 |
| エッチング | |
| エッチングレート | 約3μm/h（タングステン at 10kV） |
| 試料ホルダ | 水平プラットホーム（25.4mmφと多くのSEM試料載台装着可） |
| 試料回転 | 360°（10～60rpm） |
| 試料傾斜 | ロッキング動作 最大90°または固定角度 |
| オプション | TEM用のサイドエントリー TEMまたはSEM用アダプタ |
| 寸法とユーティリティ | |
| 外形寸法 | 560mm（幅）×480mm（奥行）×430mm（高さ） |
| 質量 | 38kg |
| 電源 | 200W 100AVC（100～240VAC可） 50/60Hz |
| ガス | アルゴン 純度99.998％以上、0.482MPa（70psi）
ヨウ素（結晶状、ユーザによって供給） |
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