電子顕微鏡試料をイオンミリング法や、化学的エッチング法により処理する場合、初めの試料ディスクを機械的に薄くする前処理装置です。
本装置は試料ディスクに半球状のくぼみを正確 に磨き出し、厚い縁を残したまま 5～10μm の薄膜を迅速に作製できます。
特長
コンパクトなデザイン
迅速なTEM試料調整
より広い電子透過面を提供
厚い縁を残したままの強い試料を作製
試料位置決め顕微鏡を用いて、容易なX、Y、アライメントが得られます。
オージェ分析深度プロファイリングの試料作製が容易にできます。
仕様・オプション
| 試料研磨ホイール径 | 10,15,20mmφ |
|---|---|
| 試料研磨ホイール回転速度 | 0～600rpm 連続可変 |
| 試料研磨加重 | 0～40g 連続可変 |
| 試料台回転速度 | 10rpm |
| 初期試料厚さ | 200μm以下 |
| 自動停止感度 | 1μｍ |
| 試料位置決め機構 | 80倍光学顕微鏡 |
| 所要電源 | AC100V 50／60Hz 1A |
| 寸法 | 300（幅）×200（奥行き）×120mm（高さ） |
| 重量 | 約6kg |
| 装置専有面積 | 60cm2 |
構成
| ディンプルグラインダー | 1式 |
|---|---|
| 試料位置決め用光学顕微鏡 | 1式 |
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