ブロードアルゴンイオンビームを用いた高分子材料の断面作製

高分子材料の断面をSEM観察する場合、ミクロトームによって断面を作製する機械的な手法が広く用いられていますが、硬度が低い高分子材料では高い習熟度が要求されます。近年、ブロードアルゴンイオンビームを用いた試料断面の作製が提案され、様々な材料に対して有効な手法となっています。今回は熱の影響を回避する手法として、試料をシリコン板に挟み、加工を行う方法を検討しましたので、その結果を報告します。