JST-Fシリーズ電源専用の、スキャン波形発生ユニットです。
蒸着材料の溶跡を改善することは、膜厚分布の再現性を向上させることにつながります。BS-64010SCTスキャンコントローラは、さまざまに調整されたスキャンパターンを発生することができ、蒸着材料の溶跡調整を行えます。
特長
専用ソフトウェアで波形調整
スキャン波形の調整は、付属のソフトウェアから容易に行えます。(Windows10搭載のパソコンが別途必要です。）
ビームスポットの滞在時間を、視覚的に調整できます。
スキャンフォーム、ピーキング、ポジション、走査周波数、チルト角など豊富な設定ができます。
XYモード、サークルモード (円周 or 渦巻き)、任意位置モード、ラインモードの4つのモードがあります。
スキャンコントローラによる溶け跡の改善
リングハース溶跡の溶跡調整例です。
左側の未調整のスキャン波形では、溶融石英リングの内周部と外周部が大きく掘れています。
右側のスキャンコントローラで最適化した波形では、大きく掘れるところがなく、平坦な溶跡が得られています。
ソフトウェア画面から、さまざまな設定ができます。
1. スキャンフォーム
手前側と奥側で、Yスキャン幅を変えられます。台形スキャンになります。
オシロスコープ波形
2. チルト
弧を描くようにスキャンしてしまう場合に、水平に補正できます。
3. X軸ピーキング
X方向両端ピーキングをかけると、両端のビーム滞在時間を減らして溶け跡平坦化できます。
オシロスコープ波形
4. 任意位置モード
複数の任意のポイントにビームを照射します。各ポイントでのXYスキャンも設定できます。
多元同時蒸着用にも使用可能です。
5. サークルモード
円周状もしくは渦巻き状にスキャンするモードです。
スキャンコントローラーのサークルモードは、蒸着前の溶かし込みでの使用を推奨いたします。
サークルスキャンによる成膜は、BS-720xxICE電源標準搭載の、より高機能なサークルスキャンを推奨いたします。
メモリー
BS-64010SCTスキャンコントローラ1台で、2台の電子銃の波形を発生できます。
材料ごとに最適化したスキャンパターンを、1台の電子銃につき15パターン記憶できます。
2台の電子銃使用時は、計30パターン記憶可能です。
スキャンコントローラの内蔵メモリーに記憶後、パソコンを切り離すことができます。
PCにも設定を保存することができます。
仕様・オプション
| 波形発生モード | 4種 |
|---|---|
| チャンネル数 | 2ch |
| 走査条件のSCメモリー記憶数 | 各チャンネル15個 |
| PCインターフェイス |
イーサネット (コネクター:RJ45メス)
100BASE-TX |
| PC通信対応ケーブル (*1) | イーサネットケーブル (カテゴリー5以上) |
| ソフトウェア対応PC (*1) | 表示分解能 1,024 × 768以上 |
| ソフトウェア対応OS | Windows® 10 |
| 外形寸法 | 481 mm (W) × 149 mm (H) × 360 mm (D) |
| 入力電源 | AC 100 ～ 240 V (*2)
50 / 60 Hz 70 VA (高調波成分を含まないこと) |
| 接地端子 | A種 (10 Ω以下) (*3) |
PCとPC通信対応ケーブルは、当該製品に含まれていません。別途、手配が必要です。
PC： パ－ソナルコンピュ－タ－ (Personal computer) の略です。付属の電源コ－ドはAC 100 ～ 125 V用です。AC 200 ～ 240 Vで使用する際は、適合した電源コ－ドを別途手配して交換が必要です。
JST-F電源用の接地端子と共用です。
