偏向型電子銃と組み合わせて使用する電子ビーム蒸着用の高圧電源です。
特長
JST-Fシリーズは、非常に多くの納入実績を有し、安定性に優れています。
関連製品リンク
仕様・オプション
| 型式 | JST-10F | JST-16F | |
|---|---|---|---|
| 出力 | 最大出力 | 10kW | 16kW |
| 加速電圧可変 | -4kV～-10kV | ||
| エミッション電流 | 0～1A | 0～1.6A | |
| フィラメント電流 | 最大40A | ||
| 加速電圧リップル含有率 | 5％以下 (最大出力時) | ||
| 偏向コイル出力 | 0～2A | ||
| 走査コイル出力 | 最大周波数500Hz (※)、最大出力 8Ap-p、±2 A DC | ||
| インターロック | 外部：3点、内部：5点 | ||
| 外部信号 | INPUT：16種、OUTPUT：9種 | ||
| 入力電源(50/60Hz) | 3相 200V±10%、15kVA | 3相 200V±10%、25kVA | |
| 外形寸法 | 電源本体 | 570mm(W)×760mm(D)×1,545mm(H) | |
| 操作盤 | 481mm(W)×300mm(D)×150mm(H) | ||
| 質量 | 約390kg | 約450kg | |
| 接地 | A種接地 (接地抵抗Ω以下) | ||
アタッチメント
ST-AS10F / ST-AS10G 放電抑止装置
電子ビーム蒸着時の異常放電を抑止します。放電時のノイズを抑止し蒸着の中断を防ぎます。ST-AS10Fは2段階、ST-AS10Gは1段階の放電抑止回路となります。
ST-AS10G
| 型式 | ST-AS10F | ST-AS10G |
|---|---|---|
| 適応可能な加速電圧・電流 | -4kV 〜 -10kV 1.6A 以下 | |
| 動作圧力 | 6 × 10-2 Pa 以下 | |
| 電子ビームの中断時間 | 0.5ms 以下 ※ | 0.1ms 以下 |
| 復帰時の加速電圧オーバーシュート | 20％ 以内・3ms 以内 | |
| 放電時の整流器波の増加電流 | 1A、100μS 以下 | |
二段階目まで動作時の遮断時間
ST-203 電子銃同時使用装置
1台の電源で2台の電子銃を同時に使用する場合に用います。操作盤は2台となり、それぞれの電子銃の専用操作盤となります。
電子銃は異種も使用可能ですが、電子銃の組み合わせによっては加速電圧の範囲等制限を受ける場合があります。
ST-EXTSIG 外部信号コントロール
操作盤に組み込み、標準の外部出力信号9種に加えて、エミッション電流確認信号等の各種信号を外部へ出力可能にします。
ケーブル構成
| 分類 | 名称 | 型式 | 長さ |
|---|---|---|---|
| W1
W2 W8 |
E1/E2/ アース | BS-64410L06W128 | 6m |
| ST-10MW128 | 10m | ||
| ST-15MW128 | 15m | ||
| W3
W4 |
コイル / 高圧（2 本） | BS-64420L06W34 | 6.5m / 5.5m |
| ST-10MW34 | 10m | ||
| ST15MW34 | 15m | ||
| W5 | エミッションリターン | BS-64430L06W5 | 5.5m |
| ST-10MW5 | 10m | ||
| ST-15MW5 | 15m | ||
| W6
W7 |
インターロック / ガン ON | BS-64440L06W67 | 6m |
| ST-10MW67 | 10m | ||
| BS-64540L15W67 | 15m | ||
| W9 | リモート | BS-64450L06W9 | 6m |
| ST-10MW9 | 10m | ||
| ST-15MW9 | 15m |
関連製品
BS-64010SCT スキャンコントローラ
JST-Fシリーズ電源専用の、スキャン波形発生ユニットです。
蒸着材料の溶跡を改善することは、膜厚分布の再現性を向上させることにつながります。BS-64010SCTスキャンコントローラは、さまざまに調整されたスキャンパターンを発生することができ、蒸着材料の溶跡調整を行えます。
BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置
研究開発に適した電子ビーム蒸着装置です。
様々なオプション機構を追加することで幅広い用途に使用可能です。
蒸着源は、電子ビーム蒸着源（電子銃）、ボンバード蒸着源、抵抗加熱蒸着源を選択できます。電子銃とボンバード蒸着源、電子銃と抵抗加熱源の組み合わせも可能です。
