IB-09020CP 断面試料作製装置

IB-09010CPの機能に加えて、断面加工モニター用ＣＣＤカメラを搭載することにより、リアルタイムで加工状況が確認できます。

特長

加工状況がリアルタイムで確認できるモニターカメラ搭載（×20～×100)。
待ち時間なし加工をスタートできる、自動開始機能搭載。最適な真空度で加工が始まります。
加工速度が速い300µm/h（シリコン基板換算、突出量：100µm、2時間平均値）の8kV電源オプション
タッチパネルで簡単操作

IB-09020CPの機能

加工モニタ機能
断面加工状況がCCDズームカメラでリアルタイムにモニターできます。
タッチパネルのズームボタンで×20～×100まで可変できます。

加工位置確認用CCDカメラ（×70）を標準装備
見やすい画面で容易に加工位置を合わせることができます。

タッチパネル操作
加工条件はカラー液晶表示で見やすく表示されたタッチパネルからセットします。

加工速度向上(オプション）：8ｋＶ電源
イオン加速電圧を８ｋVにすることで加工速度を向上できます。

試料：Siウエハ（厚さ約700μm)
遮蔽板から 100μm突出して2時間加工（加工速度は参考値です。）
試料回転ホルダ
試料を回転させながらイオンビーム加工をするためのホルダです。
断面研磨／平面研磨が可能です。
断面研磨：多孔質材料や粉末、繊維など加工スジが目立つ試料の加工に。
平面研磨：鏡面研磨の加工歪層を削り取るなどの仕上げ加工に。

SEM応用例

試料回転ホルダは試料を回転させながら加工することで、多孔質材料や粉末など、イオン加工スジが目立つ試料の断面作製の際により良い結果を得ることができます。

仕様・オプション

イオン加速電圧	2 ～ 6kV(8kV:オプション)
イオンビーム径	500μm(半値幅)
ミリングスピード	100μm/h以上(6kV)、300μm/h以上(8kV)
最大搭載試料サイズ	20mm(幅)×10mm(長さ)×5mm(厚さ):オプション
試料移動範囲	X軸 ±10mm、Y軸 ±3mm
試料角度調節範囲	±5°
試料加工スイング角	±30°(特許第4557130号)
操作法	タッチパネル
使用ガス	アルゴンガス(マスフローコントローラによる流量制御)
圧力測定	ペニング真空計
主排気装置	ターボ分子ポンプ
寸法・質量	本体: 545 mm(幅)×550 mm(奥行)×420 mm(高さ)、66kg ロータリーポンプ: 150 mm(幅)×427 mm(奥行)×230 mm(高さ)、16kg
オプション	8 kV電源試料回転ホルダ位置高精度CCDカメラ大型試料ホルダ

設置条件

電源	単相100 ～ 120V±10%、50/60Hz、0.5 ～ 0.6kVA
接地端子	D種接地(100Ω以下)
アルゴンガス	使用圧力: 0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm²) 純度99.9999%以上(アルゴンガス、ガスボンベおよびレギュレータはお客様準備) 金属配管接続口:JISB0203 RC1/8
室温	15 ～ 25℃
湿度	60%以下