走査電子顕微鏡 (SEM)
生物から材料試料まで、
観察から各種分析まであらゆるご要望に対応いたします
走査電子顕微鏡は、試料の形状から微細構造まで、様々な形態観察に適しています。
各種測定装置と組み合わせることで「元素分析」「結晶方位解析」「In-Situ分析」など様々な観察と分析が可能です。
主要装置
| 機種名 | GUN | 検出器 | Option | |
|---|---|---|---|---|
| FE-SEM | JSM-IT800HL | Schottky | SED, RBED, UED, USD | 大気非曝露 EBSD検出器（EDAX社製 Velocity） 加熱ステージ 加熱冷却ステージ 引張ステージ 液中観察ホルダー |
| JSM-7900F | Schottky | SED, RBED, UED, USD | 大気非曝露 引張ステージ 液中観察ホルダー |
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| JSM-7200F | Schottky | SED, RBED, UED, USD | 大気非曝露 EBSD検出器（EDAX社製 Digiview） 加熱ステージ 加熱冷却ステージ 引張ステージ 液中観察ホルダー |
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| JSM-7100F | Schottky | SED, RBED, UED, USD, TED | 大気非曝露 クライオステージ 液中観察ホルダー |
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| JSM-IT500HR/LA | Schottky | SED, BED | 液中観察ホルダー | |
| W-SEM | JSM-IT300LA | W | SED, BED | 液中観察ホルダー |
全機種に日本電子製EDS検出器（JED）を搭載。
SEM 特殊観察ステージ・ホルダー
加熱：TSLソリューションズ社製（室温～500℃、室温～1000℃）、Protochips 社製（室温～1200 ℃）
クライオ：日本電子製
加熱冷却：Deben 社製（±50℃）
引張：TSLソリューションズ社製（~1500N）
液中
分析例
実績試料
金属
機械部品
電子材料
電池材料
粉体試料
高分子材料（ゴム、プラスチックなど）
セラミック・ガラス
生物全般
食品（パン、個目、精肉、乳製品等）
医薬品
化粧品
観察手法
通常SEM観察
CPによる断面作製及びSEM観察
大気非暴露SEM観察
クライオSEM観察
加熱SEM観察（室温～1200℃）
引張SEM観察（1500Nまで）
EDS分析
EBSD分析（加熱、引張に対応）
液中観察
日本電子のご提案
TEMやSEM、FIBによる局所的な詳細観察に、µCTによる広範囲な構造の把握、材料の質の解析を加えることで、詳細観察において、情報量のUPや前処理工程の削減に繋がります。
