対応装置
電子顕微鏡関係
科学・計測機器サービス事業部 受託グループ
走査電子顕微鏡
走査電子顕微鏡(SEM)受託装置仕様
| 機種名 | GUN | 検出器 | Option | |
|---|---|---|---|---|
| FE-SEM | JSM-IT800HL | Schottky | SED, RBED, UED, USD | 大気非曝露 EBSD検出器（EDAX社製 Velocity） 加熱ステージ 加熱冷却ステージ 引張ステージ 液中観察ホルダー |
| JSM-7900F | Schottky | SED, RBED, UED, USD | 大気非曝露 引張ステージ 液中観察ホルダー |
|
| JSM-7200F | Schottky | SED, RBED, UED, USD | 大気非曝露 EBSD検出器（EDAX社製 Digiview） 加熱ステージ 加熱冷却ステージ 引張ステージ 液中観察ホルダー |
|
| JSM-7100F | Schottky | SED, RBED, UED, USD, TED | 大気非曝露 クライオステージ 液中観察ホルダー |
|
| JSM-IT500HR/LA | Schottky | SED, BED | 液中観察ホルダー | |
| W-SEM | JSM-IT300LA | W | SED, BED | 液中観察ホルダー |
全機種に日本電子製EDS検出器（JED）を搭載。
SEM 特殊観察ステージ・ホルダー
加熱：TSLソリューションズ社製（室温～500℃、室温～1000℃）、Protochips 社製（室温～1200 ℃）
クライオ：日本電子製
加熱冷却：Deben 社製（±50℃）
引張：TSLソリューションズ社製（~1500N）
液中
透過電子顕微鏡
透過電子顕微鏡(TEM)受託装置仕様
| 機種名 | GUN | 加速電圧 | Cs Corrector | カメラ | STEM 検出器 |
EDS検出器 analyzer |
option |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| JEM-ARM200F NEOARMex (2024/11～予定) |
Cold-FEG | 200kV 120kV 80kV 60kV |
STEM | ClearView (Gatan社製) |
ADF ABF BF BEI |
158mm2(2本) JED |
Continuum ER with Stela(Gatan社製) EDM Basic(IDES社製) 4D-STEM(STEMx)(Gatan社製) 高速スキャンシステム(JEOL製) |
| JEM-2100F | Schottky | 200kV | - | USC1000XP (Gatan社製) |
ADF BF |
100mm2(1本) JED |
ASTAR/Topspin(NanoMEGAS社製) |
| JEM-1400Plus | LaB6 or W | 120kV | - | Flash CMOS camera (JEOL製) |
- | - | - |
特殊ホルダー
加熱：Fusion DT/Protochips社製/室温～1200℃
冷却：Gatan636/Gatan社製/室温～液体窒素温度
液中：Poseidon200/Protochips社製
非曝露観察：非曝露トランスファーホルダー/JEOL製
非曝露冷却観察：Double Tilt LN2 Atoms Defend Holder/Melbuild社製
3次元構造解析トモグラフィ：TEMography/SIF社製
電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)受託装置仕様
| 機種名 | GUN | EDS検出器 | Option |
|---|---|---|---|
| JXA-iHP200F | Schottky | 30mm2 | 大型LNT※ |
| JXA-8230 | W | 10mm2 | 大型LNT※ 透過照明 |
大型LNTは液体窒素トラップで微量Cの分析に使用します。
In-situ観察などの特殊観察・分析は、基本的に非対応です。
走査プローブ顕微鏡
オージェマイクロプローブ(Auger)
| 機種名 | GUN | アナライザー | エネルギー分解能 | 備考 |
|---|---|---|---|---|
| JAMP-9510F | Schottky | 静電半球型 | CRRモード: ΔE/E 0.05～0.6％ CAEモード：可変 |
イオン銃 REELS 大気非暴露 絶縁物 |
集束イオンビーム加工観察装置（FIB）
集束イオンビーム加工観察装置(FIB)受託装置仕様
| 機種名 | GUN（SEM） | 検出器 | GIS | Option |
|---|---|---|---|---|
| JIB-4700F | Schottky | RBEI | C, W | OmniProbe400(Oxford Instruments社製) 大気非曝露 |
| JIB-4000 | - | - | C | - |
その他周辺機器
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解析はしておりません。