断面試料作製装置アプリケーション:多孔体物質の構造研究における高分解能走査電子顕微鏡法の役割

  • 概要

日本電子News Vol.41, 2009

本稿では、幾つかの多孔材料(ゼオライトLTA、ゼオライトLTL、メソ多孔体SBA-16とFDU-16、と金ナノ粒子を内包したチタニア中空殻)を例に挙げ、近年の高分解能走査電子顕微鏡(HRSEM) の進歩について原子間力顕微鏡(AFM)や透過電子顕微鏡(TEM)との比較をまじえて紹介します。
更に、特に最新の観察試料の作製法等にも触れながら超低入射電圧を用いたHRSEM 観察が多孔材料を応用する際に必要で有用な構造情報を与える事を示します。
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