自動化技術の活用で装置調整、観察、分析まで業務効率向上
JSM-IT810は、次世代型電子光学制御システム"Neo Engine"と、ZeromagやEDSインテグレーションなどの高い操作性を実現する"SEM Center"を搭載しています。さらに自動観察・分析機能"Neo Action"や自動校正機能は効率性や生産性の向上だけでなく、労働力不足の解消に貢献します。
対物レンズの違いにより、汎用FE-SEMであるハイブリッドレンズ〈HL〉、より高分解能観察や分析を可能にするスーパーハイブリッドレンズ〈SHL〉、対物レンズの下部に強い磁場レンズを形成するセミインレンズ〈SIL〉をラインナップしており、お客様の様々なニーズに応じた装置を提供します。
特長
自動観察分析機能"Neo Action"
直感的な操作で、誰でも簡単にSEM観察やEDS分析を自動化することができます。
試料: コンドライト
Julesberg (L3.6) に含まれるコンドリュール
入射電圧: 5 kV
観察モード: STD
検出器: BED
SEM自動調整パッケージ
専用の試料を用いて倍率調整・軸調整・EDSエネルギーキャリブレーションを行う機能です。
定期的なチェックを行い装置を常に良好な状態にすることができます。
Live-3D機能
5分割の半導体検出器素子により、信号選別ができます。4方向から取得した二次元像を用いると三次元像を再構築することができます。あらたに搭載したLive-3D機能により、Live像で凹凸を確認しながら測定することができます。
EDSインテグレーション
SEMによる観察とEDSによる元素分析の壁を感じさせない次世代の操作性を実現。
点、エリア、MAP、線など様々な分析方法を観察画面上に直接予約でき、すぐに分析を開始できます。
仕様・オプション
製品カタログをご覧ください。
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