新型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡JSM-7900Fを販売開始 -高性能次世代型解析ツール、超高分解能と操作性を両立したハイパフォーマンスFE-SEM-

2017/05/30

日本電子株式会社(代表取締役社長 栗原 権右衛門)は、新型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡JSM-7900Fを開発し、2017年5月より販売を開始しました。

開発の背景

走査電子顕微鏡 (SEM) はナノテクノロジー、金属、半導体、セラミックスや医学・生物学の分野など、様々な分野で活用され、益々その用途を広げています。先端材料の構造微細化に伴い、高分解能での観察が必要になってきていると同時に、より簡単にスループット良く観察・分析データを取得したいという需要が高まっています。
JSM-7900Fはこうしたニーズに応えるために超高分解能観察と操作性の両立を実現しました。オペレーターのスキルに依存することなく、常に高いパフォーマンスを発揮できます。

主な特長

  • インレンズショットキーPlus 電界放出形電子銃
    電子銃と低収差コンデンサーレンズの融合をさらに改善することにより高輝度化を実現。低加速電圧でも十分な照射電流が得られ、高分解能観察から高速度元素マッピング分析まで行えます。
  • スーパーハイブリッドレンズ/SHL (Super Hybrid Lens)
    電磁場重畳型対物レンズ "スーパーハイブリッドレンズ/SHL" を搭載、磁性体材料から絶縁体試料まで、あらゆるサンプルを超高分解能で観察・分析することができます。
  • 新開発 GBSH-S (GENTLEBEAM™ Super High resolution Stage bias mode)
    GBSH-Sは低加速電圧での超高分解能観察を可能とするステージです。従来の特殊試料ホルダが不要となり、様々な試料ホルダに対応できます。
  • 新開発 Neo Engine (New Electron Optical Engine)
    Neo Engineは新開発の電子光学系制御システムです。自動機能の精度が大幅に向上、操作性が格段に良くなりました。
  • 新機能 スマイルナビ
    初心者も安心して使用できる操作ナビゲーションシステムを搭載。SEM基本操作の習得をサポートします。
  • 新試料交換方式
    新設計の試料交換方式を採用。シンプルな操作でスムーズかつ安全に試料搬送が行え、初心者からエキスパートまで迅速な試料交換が可能です。

主な仕様

分解能 0.6 nm (15 kV), 0.7 nm (1.0 kV), 1.0 nm (0.5 kV)
3.0 nm (5 kV, 照射電流 5 nA, WD 10 mm)
写真倍率 ×25 ~ ×1,000,000
電子銃 インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃
加速電圧 0.01 kV ~ 30 kV
照射電流 数 pA ~ 500 nA
JEOL_JSM-7900F

本体標準価格

85,000,000円~

販売予定台数

100台/年間