東北大学との共同研究 「顕微軟X線分光分析システムの研究開発とスペクトルデータベース構築」を開始

2017/06/20

2017年4月1日、日本電子株式会社(代表取締役社長 栗原 権右衛門)と国立大学法人 東北大学(総長 里見 進)は、「顕微軟X線分光分析システムの研究開発とスペクトルデータベース構築」という共同研究を正式に開始しました。

顕微軟X線分光分析システムとは、新開発の回折格子と高感度X線CCDカメラを組み合わせることにより、超高エネルギー分解能を実現した電子顕微鏡用X線分光分析システムです。金属のLi-K発光分析が可能、EDS同様にパラレル検出が可能、かつWDSが持つエネルギー分解能を超える0.3eV (Fermi端 Al-L基準) の超高エネルギー分解能分析が可能などの特徴があり、当社は軟X線分光器 (SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)として製品化しています。
本共同研究ではSXESをさらに改良・発展して、国内外の高性能鋼板・二次電池を始めとした各種の材料分野における新分析手法として広く発信し普及させ、機能性材料等の開発に貢献することを目的としています。

図 顕微軟X線分光分析システム概要
(左図:システム概念図,右図:窒化チタンのX線スペクトル分解能比較例)

図 EPMA・SEMへの装着例

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