超高分解能ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡JSM-7610FPlusを販売開始－極微細構造の観察と微小領域の分析を可能にする高性能FE-SEM－

開発の背景

走査電子顕微鏡はナノテクノロジー、金属、半導体、セラミックスや医学・生物学の分野など、様々な分野で活用され、益々その用途を広げています。先端材料の構造微細化が進み、高分解能観察条件で材料解析を行いたいというニーズに応えるため、ご好評をいただいてきましたJSM-7610Fのさらなる分解能向上を目指し、電子光学系を見直すことでこれを実現しました。
セミインレンズ形の対物レンズと、大電流を安定して得られるインレンズショットキー電界放出形電子銃の組み合わせで、超高分解能観察と高空間分解能分析を両立します。

主な特長

• 高空間分解能を可能にするセミインレンズ形対物レンズ
  電子線を細く絞れるセミインレンズ形対物レンズを搭載し、低加速電圧でも高い分解能を得ることが可能です。
• GENTLEBEAM™モードによる低加速電圧での最表面観察
  GENTLEBEAM™モード（GBモード）は、試料にバイアス電圧を印加することで、電子ビームを試料の直前で減速させる機能で、低加速電圧での観察、分析に威力を発揮します。
• r-filterによる信号選別
  r-filterにより、電子ビームを照射することで試料から発生する二次電子、反射電子の信号を選別して検出します。
• LABE検出器（オプション）による低角度反射電子像
  LABE（Low Angle BE）検出器は低角度の反射電子を検出します。低加速電圧では試料表面の微細な凹凸情報を、高加速電圧では試料の組成情報を観察可能です。
• High Power Optics
  大電流で高い安定性を備えたインレンズショットキー電界放出形電子銃と全電流範囲で自動的に電子ビーム径を最適化する開き角自動最適化レンズ（ACL）の組み合わせで、安定した観察と分析が可能です。
• 様々なニーズに応える多種多様なアタッチメント
  EDS（エネルギー分散形元素分析装置）だけでなく、WDS（波長分散形元素分析装置）、CL（カソードルミネッセンス）など、様々な分析のニーズに対応可能です。

主な仕様

本体標準価格

71,000,000円～

販売予定台数

50台/年間

関連リンク

• 製品情報
  JSM-7610FPlus ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡