走査電子顕微鏡 (SEM)

イオンビーム応用装置 (FIB、IS、CP)

微小領域分析・表面分析装置 (EPMA、Auger、XPS、ESCA)

蛍光X線分析装置 (XRF)

質量分析計 (MS)

核磁気共鳴装置 (NMR)

電子スピン共鳴装置 (ESR)