走査電子顕微鏡 (SEM)

イオンビーム応用装置 (FIB、IS、CP)

微小領域分析・表面分析装置 (EPMA、Auger、XPS、ESCA)

核磁気共鳴装置(NMR)

電子スピン共鳴装置 (ESR)