日本電子 - オックスフォード・インストゥルメンツ
FE-SEM / FIB-SEM / EDS / EBSD「ジョイントWEBセミナー」 2020

恒例となりましたジョイントセミナーを今年はWEB上で「WEBセミナー」として開催する運びとなりました。
今回は1日目に高分解能FE-SEM / 高感度ウィンドウレスEDS / CMOS型EBSDを用いた最新の観察・分析事例を、2日目にFIB-SEM / 大面積EDS / CMOS型EBSDを用いた最新の3D解析事例をご紹介します。
WEBに接続できる環境であれば、パソコンからだけでなく、スマートフォンやタブレットからも参加することができます。
皆さまのご参加をお待ちしております。

共催：日本電子株式会社、オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

WEBセミナー

低加速電圧FE-SEMを用いた分析 ～微小領域分析とその手法～

2020年9月10日（木）15:00～15:25

近年、FE-SEMを用いた材料解析では、試料構造の微細化に伴い、ナノレベルでの分析・観察が要求されています。
低加速電圧FE-SEMでは入射電子の侵入深さを小さく保つことにより、表面近傍の情報取得が可能となります。さらに、ダメージ低減も期待できることからナノ構造の分析・観察に活用されています。
本発表では試料最表面や微小領域の分析をするための技術、およびそれを用いた材料解析例を紹介します。

講師
山本 康晶
日本電子株式会社 EP事業ユニット

美麗な像が未来をつくる ～新型検出器を搭載したJSM-IT800〈SHL〉のご紹介～

2020年9月10日（木）15:25～15:40

最新のショットキー型FE-SEM“JSM-IT800〈SHL〉”では、高いS/Nで明るい像取得が可能な新型検出器を搭載しました。
本発表では、新型検出器による高い操作性と優れた空間分解能を有する最新FE-SEMの特長を紹介します。

講師
山口 祐樹
日本電子株式会社 EP事業ユニット

最先端EDS/EBSD SEM用材料解析システムのご紹介

2020年9月10日（木）15:50～16:30

様々な分野で使用される材料の高機能化に伴い、その材料を開発・評価するための解析システムが求められています。
EDS検出器「UltimExtreme」は、特長的なウィンドウレス構造を持ち、極低加速電圧分析によるナノメートルオーダーの元素分析が可能です。また材料の結晶方位やグレインサイズ、内部ひずみ等の微細組織解析のためのEBSD検出器「Symmetry」は、CMOSカメラを搭載し、超高速EBSD分析を実現します。
本発表ではそれら最先端解析システムの特長と分析事例をご紹介します。

講師
五十嵐 誠
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 分析機器事業部

FIB-SEMによる最新3Dアプリケーションのご紹介

2020年9月11日（金）15:00～15:40

FIB-SEM複合装置の大きな特長の1つとして三次元像の構築が挙げられます。
主に反射電子像（組成構造）を用いて3次元構築を行いますが、本装置には元素分析を行うEDS検出器と結晶方位解析を行うEBSD検出器の取付けも可能であり、それらを用いた三次元測定も可能です。
本発表では、反射電子像（組成構造）に加え、EDS分析、EBSD解析について三次元構築の事例を紹介します。

講師
三平 智宏
日本電子株式会社 EP事業ユニット

FIB-SEMによる3D-EDS/EBSDデータの最新解析事例

2020年9月11日（金）15:50～16:30

FIB-SEM複合装置を用いてEDS/EBSD分析を行うと、2Dデータに加えて3Dデータも収取することができます。2Dでは試料表面の元素分布や結晶方位の情報が得られますが、試料の奥行方向の情報は得られません。FIBで試料を削っていき奥行方向の情報をとびとびの2Dデータとしてマップを取ることもできます。さらに空間的な分布を直感的に理解するためには、3D形式でデータを収集してデータ表示を3Dにすれば元素分布の空間的な関係や複数の結晶粒の位置関係を把握することができます。
検出器の高感度化で従来よりも収集時間が短くなったUltimMax(EDS)、Symmetry(EBSD)を用いた2D/3D-EDS/EBSDの解析事例を紹介します。

講師
森田 博文
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 分析機器事業部

カタログ

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オンラインデモのご紹介

お申込みから実施までの流れ

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  その際、日時の調整やご要望等をお伺いします。

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  当日はお電話またはPC音声マイクを通してご案内いたします。

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