最新の静電半球アナライザを用いたナノ領域オージェマッピング (2)

  • 概要

ステンレス中のNbC粒子に観察されるカーボンの濃度勾配ある特定のステンレスの中には NbC 粒子が含んだものがあり、その大きさは数 10nm~数 µm と様々な大きさです。それらの NbC 粒子に注目してマッピングを行ったところ、粒子の外周部の 100 ~ 150nm の領域で、C の濃度勾配が確認できました。
超高真空中で、微小領域が分析できるオージェならではの分析結果です。
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