• 概要

JEM-2100F は、日本電子の電子光学技術を駆使して新しく設計された高分解能 ・ 高精度分析電子顕微鏡です。

高輝度でしかも電子線強度が安定した電界放出形電子銃 (FEG) を採用しており、高い分解能と高い分析精度が達成されます。また、X 線の検出立体角が大きく改善されたことにより、信号検出効率が向上しナノ ・ スケールでの元素分析に貢献します。

操作系には Windows® PC が採用され、シンプルでインテグレートされたオペレーション ・ システムは初心者にも容易に操作ができ、実験の効率が向上します。

JEM-2100F

JEM-2100F は、日本電子の電子光学技術を駆使して新しく設計された高分解能 ・ 高精度分析電子顕微鏡です。

高輝度でしかも電子線強度が安定した電界放出形電子銃 (FEG) を採用しており、高い分解能と高い分析精度が達成されます。また、X 線の検出立体角が大きく改善されたことにより、信号検出効率が向上しナノ ・ スケールでの元素分析に貢献します。

操作系には Windows® PC が採用され、シンプルでインテグレートされたオペレーション ・ システムは初心者にも容易に操作ができ、実験の効率が向上します。

特長

高輝度、高安定FEGの採用

ショットキー ・ タイプの FEG により、ビーム電流 0.5 nA ( ビーム径 1nm 時 ) の高い輝度が得られ、電流変動率は 1% 以下の高い安定性です。この FEG は従来機 JEM-2010F で 10 年以上の長い実績があります。

高いX線検出効率

新設計の X 線検出機構で、0.24sr の高い検出立体角が実現しました。これにより、X 線による元素分析の感度が大きく向上しました。

Windows® PCによるシンプルでインテグレートされたオペレーション・システム

従来、複雑であった電子顕微鏡の操作が、Windows® PCのグラフィック ・ユーザ ・ インターフェイス (GUI) の画面の上で簡単に行えます。また、走査透過電子顕微鏡 (STEM) 機能もインテグレートされ、同一の PC の上でデジタル画像として記録されます。

性能

  1. 最高加速電圧 : 200 kV
  2. 格子分解能 : 0.1nm、点分解能 : 0.19 nm、STEM 分解能 : 0.2 nm
  3. 倍率 : x50 - x1,500,000
  4. X 線検出立体角 : 0.24 sr

主な応用分野

  1. 高分解能観察・・・結晶構造像、原子配列像、微粒子やナノチューブの原子配列像
  2. 形態観察・・・・・・・材料 ・ 半導体 ・ 高分子 ・ 生物組織の観察
  3. 電子回折・・・・・・・原子間距離の同定、結晶の種類や結晶方位の解析
  4. 収束電子回折・・・結晶の同定、格子欠陥 ・ 格子歪みの解析、試料厚さの計測
  5. X 線分析・・・・・・・試料中の含有元素の定性 ・ 定量分析
  6. 電子エネルギー分析・・・試料中の含有元素の定性 ・定量分析、化学状態分析
  7. ローレンツ顕微法・・・磁性材料の磁区 ・ 磁壁の解析
  8. 電子線ホログラフィー・・・試料の磁束 ・ 電場分布の解析
  9. 動的観察・・・・・・試料加熱 ・ 冷却 ・ 引っ張りなどによる相変態や変形過程の解析
  10. 3 次元トモグラフ・・・試料内部構造の 3 次元計測

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