球面収差補正 TEM (200kV) による半導体デバイス評価

日本電子株式会社　電子光学機器本部　奥西栄治、沢田英敬
Electron Optics Division,JEOL Ltd.
LSI テスティングシンポジウム会議録, pp,311 - 314,2006 / ©LSI テスティング学会

透過電子顕微鏡に球面収差補正を施すことによって、顕微鏡像および元素分析の空間分解能は著しく向上する。元素分析の空間分解能はナノメータのオーダーに達する。球面収差補正機構を搭載した加速電圧 200kV 透過電子顕微鏡を用いて、半導体デバイス評価を試み、これまで以上の微細な点について評価可能となった有効性を紹介しています。

キーワード：球面収差補正、半導体デバイス、元素分析
Keywords ： spherical-aberration corrector,semiconducting device,elemental analysis,