イオンスライサによる試料作製技術2:半導体デバイスの試料作製

  • 概要

イオンスライサ™(IS)による、断面観察用薄膜(TEM用)試料作製法を解説します。半導体デバイスを例としますが、その他の試料にも応用可能です。
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