FIBによるTEM試料作製法：バルクピックアップ法

ピックアップ法を用いたFIBによるTEM試料作製法は事前の素材加工が不要であり、試料の損失を無くすなど利点は多いですが、磁性材料は観察不可能であること、薄膜加工終了後、再度FIBに戻して追加工をすることができないこと、平面方向の観察試料作製が難しいことなど欠点もあります。本解説ではこれらの欠点を克服するバルクピックアップ法を紹介します。