JPS-9200応用データ紹介(2)：マイクロ分析測定例 2

JPS-9200 には高性能イオン銃を搭載し、XPS の深さ方向分析の応用を拡げています。X/Y 軸フルモータステージの駆動により、指定微小領域の深さ方向分析を行うことができます。最大 20 点までの分析位置での深さ方向分析が可能です。