• 概要

全反射 X 線光電子分光法(Total reflection x-ray photoelectron spectroscopy,TRXPS)は照射 X 線の侵入深さが浅いため、従来の XPS に比べ、表面感度が高い、スペクトルのバックグラウンドが低いなどの優れた特徴があり、表面超微量状態分析、薄膜材料の表面数層の化学結合状態 ・ 島状成長 ・ 膜厚 ・ 界面状態の解析に有効です。薄膜材料の表面数層の化学結合状態分析に TRXPS 法を適用した結果を紹介します。
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