ARXPS測定による膜厚解析

ARXPSとは？

Angle Resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy（角度分解 X 線光電子分光法）はアナライザに対する試料の傾斜角度を変えることで、実質の試料の検出深さを変える分析手法です。イオンスパッタによる深さ方向分析とは異なり、光電子の脱出深さまでの領域を非破壊で分析することが可能です。ARXPS のデータから以下のような情報が得られます。