• 概要

ARXPSとは?

Angle Resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy(角度分解 X 線光電子分光法)はアナライザに対する試料の傾斜角度を変えることで、実質の試料の検出深さを変える分析手法です。イオンスパッタによる深さ方向分析とは異なり、光電子の脱出深さまでの領域を非破壊で分析することが可能です。ARXPS のデータから以下のような情報が得られます。
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