中和銃と試料バイアス印加を用いたXPSにおける絶縁物分析法　日本電子技術情報

XPS は励起源として X 線を用いているため、オージェ電子分光法 (AES) など電子線を使用する装置と比較し帯電の影響を受けにくいです。このため XPS は金属から絶縁物にいたるまで幅広い測定対象をもつ分析手法です。しかし、XPS の特長である化学結合状態分析を行うという観点からすると、帯電現象は精度の高い分析を妨げる現象であり、測定時に帯電の影響を取り除いておく必要があります。

今回、中和銃の使用と試料へ正のバイアスを印加することにより、ピーク形状の歪みを抑えることができたためその紹介をします。