大気非曝露条件下での断面試料作製:リチウムイオン電池材料への応用例

  • 概要

Liイオン電池の様に大気成分と反応しやすい材料の断面作製を行う大気非曝露クロスセクションポリッシャ™(CP)の紹介です。

大気非曝露クロスセクションポリッシャ™ Air isolated Cross section Polisher

大気非曝露CPからトランスファーベッセル対応のSEMで観察

【応用例】リチウム電池負極材料の観察例

下の写真は大気非曝露状態で加工した例です。観察後に大気に曝した結果を見ると断面状態が大きく変化して大気成分と反応していることが判ります。

大気非曝露状態での加工例 加工後、20分間大気曝露状態で放置した結果(同一視野)

【主な仕様】

イオン加速電圧 2~6kV (8kV オプション)
使用ガス アルゴンガス
最大ミリングスピード 300µm/h (2時間の平均値,加速電圧:8kV, Si換算,エッジ距離:100µm)
最大試料サイズ 12mm(幅)×6mm(長さ)×3mm(厚さ)
試料搬送方式 トランスファーベッセル方式
試料転送雰囲気 アルゴンガス、真空
加工中モニター ズームCCDカメラ(×20~×100)で確認可能空
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