電子ビーム描画装置JBX-3200MV/JBX-3050MV/JBX-9500FS/JBX-6300FS

日本電子 (JEOL) の電子ビーム描画装置には、マスク/レチクル描画装置「JBX-3200MV 」シリーズと、ウェーハ直接描画装置「 JBX-9500FS 」、「 JBX-6300FS 」の 2 種類があります。前者は最先端リソグラフィーに使用されるステッパ用の原版であるマスク/レチクルの生産用として、後者は次々世代デバイスの研究開発および最先端通信デバイスの生産用として使われています。