XPS用試料処理室とその応用

JPS-9010 シリーズ試料交換室後部に接続し、in-situ で試料加熱などの処理を行う装置を紹介します。試料処理室内にガスを導入することにより、ガス反応処理が可能になります。試料処理後は、試料を大気に曝すことなく分析室へ移動させ、XPS 測定を行うことができます。