• 概要

市販のMDを試料として、Arイオンスパッタエッチングを繰り返し行い、深さ方向分析を行った結果です。
市販のMDを試料として、Arイオンスパッタエッチングを繰り返し行い、深さ方向分析を行った結果です。Si2p,O1s,C1sスペクトルを測定したところ、Si,OはMD表面近傍のみにしか存在しないことが分かります、O,C,Siの深さ方向での濃度分布(Depth Profile)を求めますと、最表面には有機保護膜がごく僅か塗布されており、C層との間にSiO2層が約3nm程度存在することが分かります。またC層はC1s光電子スペクトル形状により多孔質カーボンであることが求まります。




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