JAMP-7800シリーズ用試料処理装置の紹介

オージェマイクロプローブ 7800 シリーズではオージェ分析が主な機能ですが、機能拡張用のための予備ポートと試料まわりに自由空間があり、ユーザーの特殊な用途にも対応できるように設計されています。ここでは試料処理装置の例を紹介します。