イオンスライサによる試料作製技術4:小さいサイズの試料作製法

  • 概要

試料の大きさがイオンスライサ™の試料ホルダのギャップ(約2mm)より小さな試料の薄膜試料作製法を解説します。チップコンデンサを例としますが、その他の試料にも応用可能です。
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