イオンスライサによる試料作製技術4:小さいサイズの試料作製法

試料の大きさがイオンスライサ™の試料ホルダのギャップ（約2mm）より小さな試料の薄膜試料作製法を解説します。チップコンデンサを例としますが、その他の試料にも応用可能です。