超高分解能STEMによる複雑化合物の局所解析

照射系対物レンズの球面収差補正によって収束電子ビームを1Å以下に絞り込むことが可能となり、走査型透過電子顕微鏡 (STEM) の分解能が格段に向上した。本稿では、収差補正STEMの高い分解能を活かした結像、分光分析を構造複雑化合物の局所解析へと適用した例を簡潔に紹介する。