走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察1:ステレオSEM写真の原理

  • 概要

走査電子顕微鏡(SEM)で、ステレオ(3D)写真を撮影することができます。

ステレオSEM写真の原理

立体物を見た場合に人が立体感を感じるのは、左右の目に見える像に対象物に対する角度の違い(視差)があり、この違いを脳で「立体感」として感じることによります。

視差角
θ:視差角



SEMでステレオ写真を撮影する場合、この視差を作るために、同一視野で傾斜角度を変えて2枚の写真を撮影します。

以下に撮影の手順を紹介します。

1.試料ステージの傾斜角度を0°にして観察視野を選び、右目用の写真を撮影します。
2.試料ステージの傾斜角度を7°程度傾斜し、左目用の写真を撮影します。
 ※このとき、視野がずれることがありますので試料ステージのX軸、Y軸を使ってずれた視野を戻してから撮影します。
3.撮影した2枚の写真を傾斜軸が縦になるように置いて見ると、立体的な形状を観察することができます。
※通常、SEMの観察画面では傾斜軸が横になっているため、撮影した写真は傾斜軸が横になっています。

傾斜軸が縦になるよう写真を置く
SEMの観察画面(傾斜軸が横)→ 傾斜軸が縦になるように写真を置く

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