第40回 EPMA・表面分析ユーザーズミーティング (オンライン)
2021年10月4日 (月)～10月29日 (金)
* EPMAは、Electron Probe Microanalyzerの略称です。
本年も昨年と同様にEPMA・表面分析 ユーザーズミーティングはオンラインで開催します。
今年は第40回という節目の年となりますので、「第40回 記念講演」と題しました講演を別枠にて2講演予定しています。
開催期間中、ご都合の良い時間に動画や資料をご覧いただけます。
WEBに接続できる環境であれば、パソコンからだけでなく、スマートフォンやタブレットからも視聴できます。
本年も例年と同様、外部講演の先生方の発表を含め、さまざまな分野を網羅した新技術情報や実践的技術情報をお届けします。
アプリケーションポスター、パネル / カタログなどの製品情報、キャンペーン情報もご覧いただけますので、ぜひご活用ください。
※ 会期終了に伴い、10月29日(金)をもって公開を終了しました
ウェビナー (オンデマンド)
第40回 記念講演
FE-EPMA事始め
- 何故EPMAにFE電子銃が必要だったのか -
記念講演_1
現在では、FE電子銃を搭載したEPMAが様々な研究現場や材料開発現場で利用されるようになってきている。まさに、隔世の感がある。当時 (1998年頃) 材料評価に散布図を利用することでEPMAの空間分解能 (約1µm) 以下の化合物が同定できることを見出していた。より微細な組織を分析する方法として、さらに細い電子ビームが得られるFE-EPMA開発の極秘プロジェクトを日本電子とスタートさせた。
講師
木村 隆 様
国立研究開発法人
物質・材料研究機構
名誉研究員
イオン誘起表面荒れ (sputter cone) の功罪
記念講演_2
オージェ電子分光法をはじめとする極表面の分析では、イオン照射で表面を削り取りながら分析を繰り返す深さ方向分析は不可欠である。その際、固体表面はイオン照射によって1原子層ずつはぎとられていくわけではなく、照射誘起表面荒れ、いわゆる "sputter cone" を生じる。表面分析の観点からはsputter coneは全くの厄介者で極力その発生を抑制したい。一方、ナノ材料合成の観点からは、室温、無触媒で形成されるsputter coneは非常に魅力的である。本講演では、その形成と活用を詳述する。
講師
種村 眞幸 様
名古屋工業大学
物理工学専攻
ユーザーズミーティング
表面分析装置のリモート・スマート化によるリサーチトランスフォーメーション (RX)
- JEOL FE-EPMA・SXES, SEM, FE-AES, XPS, FE-TEMを用いた取り組みの紹介 -
EPMA UM_1
長岡技術科学大学では全国の高等専門学校との間で、インターネットを介したリモート操作における分析機器の共用化を推進している。 令和3年現在、文部科学省の先端研究基盤共用促進事業の下で36台の分析機器をリモート化するとともに、 リモート操作における遅延や操作性などの問題点を日本電子様と情報交換を行いながら改善を試みている。本発表ではリモート・スマート化の事例を紹介し、そこから生まれるリサーチトランスフォーメンション (RX) について紹介する。
講師
齊籐 信雄 様
長岡技術科学大学
分析計測センター
軟X線発光分光法によるステンレス材料表面の不動態皮膜の解析
EPMA UM_2
ステンレス鋼は一定量以上のCrを含有する鋼です。ステンレス鋼に含まれるCrはFeよりも先に酸素と結びつき不動態皮膜と呼ばれる薄い酸化膜を生成します。本実験ではステンレス鋼 (SUS304) の不動態皮膜の酸化状態を明らかにするため、電子線プローブマイクロアナライザーJXA-iHP200Fに搭載した軟X線分光器を用いて、FeとCrの状態分析を行いました。加速電圧を0.1 kV刻みで上げていき、表面から深さ方向のスペクトル変化を観測しました。
講師
上條 栞
日本電子株式会社
SA事業ユニット
SA技術開発部
フェイズマップメーカーによる散布図解析を活用した材料評価事例の紹介
EPMA UM_3
フェイズマップメーカーの散布図作成機能を用いて電子プローブマイクロアナライザーで測定したX線強度マップから、 散布図マトリックスを作成して、複数元素の散布図の相関を解析することにより、試料中に含まれる化合物の組成や分布、微量元素の僅かな濃度変化を可視化することができます。 この材料解析の一つの手法である散布図解析の新機能について、溶射皮膜の分析事例などを用いて紹介します。
講師
塚本 一徳
日本電子株式会社
科学・計測機器営業本部
SI販売促進室
講師
林 真一
日本電子株式会社
SA事業ユニット
SA技術開発部
AESの本領発揮！
- Spectrum imagingを用いた高エネルギー分解能な測定事例 -
EPMA UM_4
産業技術総合研究所の田口様との共同研究により昨年度リリースいたしました各ピクセルにスペクトル情報が格納されたSpectrum Imagingを用いることで、これまで可能とはされながらも設定などで苦労した測定が簡単に実行できるようになりました。本発表では、中でも高エネルギー分解能な測定が可能なAESだからこそ実現できる、バンドギャップ測定やpn接合のようなわずかなエネルギー差の可視化例などを紹介します。
講師
伊木田 木の実
日本電子株式会社
SA事業ユニット
SA技術開発部
薄膜・積層膜の分析方法をお探しの方へ
- 簡単操作なXRF、XPSの使い分け -
EPMA UM_5
試料表面に形成された薄膜・積層膜の元素組成や化学状態、その膜厚を調べるという要求は多数あります。そのような試料の分析には、SEM, TEMを用いて断面観察しながらの分析がよく行われていますが、高度な技能が必要となります。そこで、スクリーニングとして簡単に膜厚評価や状態分析を行いたい方に向けて、複雑な操作を行わず分析可能なXRFとXPSを紹介します。本発表では、XRFとXPSの使い分けと実際に分析を行う上での注意点を説明します。
講師
村谷 直紀
日本電子株式会社
SA事業ユニット
SA技術開発部
EPMA分析の留意点
- 分光器の集光条件と測定条件設定 -
EPMA UM_6
高い波長分解能と微量元素分析能力を有する電子プローブマイクロアナライザー (EPMA) は固体表面の微小領域の非破壊分析装置として幅広い分野で使用されています。EPMAはWDS (波長分散型分光器) を用いて元素分析を行っており、正確な分析結果を求めるためには分光器の集光条件を考慮した条件設定が重要となります。本発表では、スキャン方法や倍率、プローブ径といった分光器の集光条件に関する最適な測定条件について紹介します。
講師
土門 武
日本電子株式会社
フィールドソリューション事業部
サービス企画推進本部
装置導入方法に関するご提案と最新情報
EPMA UM_6
限られた時間で最大の成果が求められる時代、成果を出すための装置導入を「所有」から「使用」へと発想を転換することで、【装置】を買うのではなく、【時間】を買いませんか？
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講師
浅冨 華恵／増田 裕洪
日本電子株式会社
科学・計測機器営業本部
営業企画室
アプリケーションポスター
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技術
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サービス
キャンペーン / 特殊試料ホルダーのご紹介
SEM / EPMA・表面分析ユーザーズミーティング 消耗品ご優待販売キャンペーン
公開期間は終了しました
走査電子顕微鏡 ウェネルト交換セットのご案内割引キャンペーン
公開期間は終了しました
特殊試料ホルダー＆アダプターのご紹介
公開期間は終了しました
オンラインデモのご紹介
装置の導入を検討中のお客様にインターネット経由で装置の紹介や操作説明を行うサービスです。
複数の方が同時にご覧いただけます。音声通話も可能ですので、質疑応答もその場で行うことができます。
メリット
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ご来社頂く必要がありません
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出張承認が不要
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多くの装置使用者で確認可能
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報告／日報が不要
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デモ後、速やかに仕事に戻れる
お申込みから実施までの流れ
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ご希望の際は、フォームよりお申込みください。
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担当者より折り返しご連絡を差し上げます。
その際、日時の調整やご要望等をお伺いします。 -
指定日時に「オンラインデモ」を開始いたします。
当日はお電話またはPC音声マイクを通してご案内いたします。
※ 会期終了に伴い、10月29日(金)をもってお申し込みを終了しました
お問い合わせ
日本電子株式会社
ユーザーズミーティング事務局
E-mail： jeolum[at]jeol.co.jp
※ [at]は＠に、ご変更ください。