アレイトモグラフィーによる高立体角EDSを用いた3D元素マッピング

公開日： 2020/01/08

アレイトモグラフィーは連続した超薄切片を観察することで3D画像が取得できる方法として広く一般に用いられています。
最近では、バイオやソフトマテリアルは単一構造から有機−無機物との複合材料が解析対象となりつつあり、3D観察のみから高画質な3D元素マッピングの要求もでています。
そこで、アレイトモグラフィーに高分解能型FE-SEM JSM-7900Fと高立体角なBruker社製XFlash5060FlatQuadを組み合わせた3D元素マッピング法を検討しました。FlatQuadは試料直上に配置されるEDS検出器であり、試料と検出器の距離が近いために超高立体角を実現しました。このため、生物試料の超薄切片のように特性X線の発生量が少ない試料であっても、短時間でEDSマップを取得することができます。
本セミナーでは、このEDS検出器の特長と、連続した超薄切片にEDSを応用した3D EDS元素マッピングの応用例をご紹介します。

本セミナーは、WEB上で開催されます。WEBに接続できる環境であれば、パソコンからだけでなく、スマートフォンやタブレットからも参加することができます。
皆さまのご参加をお待ちしております。

主催: 日本電子株式会社