電子線を使った微小領域における化学状態分析とその定量

オージェ電子分光分析装置 (AES) は表面から数 nmといった極浅い領域の元素分析や化学状態分析を行う装置です。サブマイクロメートル以下の微小領域で表面元素分析を行う場合には、非常に有用な装置として広く知られています。しかし一方で、化学状態分析装置としてはあまり用いられてはいません。その理由は、オージェピークは化学結合状態によってピーク形状やピーク位置が変化するため複雑化し、一般的にXPSに比べて波形分離が難しいと誤解されていることが多いためです。本ウェビナーでは、AES用波形分離ソフトウエア「Spectra Investigator」を使って、スズ基板上に形成したスズ酸化膜に対して、スズの酸化数を調べる化学状態分析を行い、それぞれの元素の定量分析まで行う方法をわかりやすく解説します。

本セミナーは、WEB上で開催されます。WEBに接続できる環境であれば、パソコンからだけでなく、スマートフォンやタブレットからも参加することができます。
皆さまのご参加をお待ちしております。

"このウェビナーから学べること"

• オージェ電子分光分析法
• 微小領域の化学状態分析

"参加いただきたいお客様"

• 微小領域の化学状態分析に興味のある方
• オージェ電子分光装置を使った化学状態分析に興味のある方

講演者

堤　建一

SA事業ユニット
SA技術開発部