第42回 EPMA・表面分析ユーザーズミーティング (東京)

公開日： 2023/05/11

本年のEPMA・表面分析ユーザーズミーティングは、会場で開催するとともにWEBでの同時配信を予定しております。
例年同様、外部講演の先生方を含め、さまざまな分野を網羅した新技術や実践的技術などの役立つ情報をご提供いたします。
また、会場では日本電子の各種製品のご紹介コーナー、ならびに協賛企業の製品紹介コーナーを設置します。
講演終了後には懇親会を予定しておりますので、情報交換の場として有意義にご歓談いただければ幸いです。
当ユーザーズミーティングは弊社装置をお使いの方に限らず、他社装置をお使いの方、装置にご興味がある方、どなたでもご参加できる無料のセミナーです。
ご多忙の折とは存じますが、皆様のご参加を心よりお待ち申し上げております。

※EPMA (Electron Probe Micro Analyzer)

ご連絡

新型コロナウイルス感染症予防対策といたしまして、今後の状況次第では開催方法に変更等が発生する場合がございます。あらかじめご了承ください。
「会場での参加を希望」にチェックされた方は当日会場までお越しください。
ご来場の際、受付でお名刺を2枚頂戴いたします。お手数ですが事前にご用意をお願いいたします。
予稿集 (冊子) は会場参加の方のみに配布いたします。
- オンライン参加の方でご希望の場合は、開催終了後に担当営業までご連絡ください。
各講演の質問は会場参加の方のみお受けいたします。
- オンライン参加の方は終了後のアンケートにご記入ください。
開催終了後、配布資料のダウンロードおよび、ホームページに発表動画の掲載は行いません。
同業他社様、代理店様のご登録はお断りする場合がございますので、ご了承ください。

開催日

2023年11月22日 (水)

お申し込み締め切り

2023年11月20日 (月)まで

会場

浅草橋ヒューリックホール
〒111-0053 東京都台東区浅草橋1-22-16 ヒューリック浅草橋ビル 2階
地図はこちら

アクセス

JR総武線「浅草橋駅 (西口)」より徒歩1分
都営浅草線「浅草橋駅 (A3出口)」より徒歩2分

※1階のオフィスエントランスからは来場いただけません。外階段、又は外エレベーターから2階へご来場をお願いします。

参加費

無料

プログラム

PDFはこちら(102KB)

時間	題名要旨	講演者
9:30～	受付
10:00～10:10	開会挨拶
10:10～10:40	失われたエネルギーに注目したら電子状態が見えてきた〜AESを利用したREELSの基礎〜オージェ電子分光装置は、オージェ電子に限らず二次電子や反射電子なども分光分析することができます。中でも反射電子を利用したエネルギー損失分光法 (REELS) は、薄片化が必要なく比較的簡単に固体試料表面数nmの化学状態・電子状態をダメージレスに分析可能です。そのため半導体分野などで活用されています。そこで本講演では、オージェ電子分光装置 (JAMP-9510F) を使用したREELSの最適な測定条件や注意点について、アプリケーション事例などを交えながら紹介します。	日本電子株式会社 SA事業ユニット SA技術開発部伊木田木の実
10:40～11:15	オージェ電子分光法を用いた潤滑油反応被膜の化学結合状態解析検討オージェ電子分光法は極表面(数nm)の領域の元素分析や化学結合状態分析ができる手法です。表面分析において、化学結合状態の分析手法として一般的にあげられるのはXPSですが、オージェ電子分光法はXPSでは測定が難しいサブマイクロメートル以下の微小領域でも測定・解析ができます。また、XPSはピークシフトから化学結合状態を推定するのに対し、オージェ電子分光法はピーク形状から推定するためXPSで判別が難しい化学結合状態の推定も可能です。今回は潤滑油反応被膜の金属成分についてオージェ電子分光法で化学結合状態を解析した例を紹介します。	出光興産株式会社辻瞳様
11:15～11:45	XPSの波形分離でお困りの方へ〜パラメータ固定を利用した波形分離のコツ紹介〜 XPSを用いて化学結合状態分析を行う際、ガウスローレンツ関数を用いた波形分離計算がよく行われます。オペレーションが容易で、様々な試料の化学結合状態分析を可能にする一方、ピークが明瞭に分裂していないスペクトルに対しては誤った結果を与える可能性があります。本発表では、日本電子製XPSソフトウェアSPECSURFを用いて、パラメータ値の固定機能を活用した波形分離計算の方法を実例とともに紹介します。	日本電子株式会社 SA事業ユニット SA技術開発部村谷直紀
11:45～12:15	昼食
12:15～13:00	実機・ポスター展示
13:00～13:35	EPMAを用いた接点表面分析事例弊社の電子部品事業は、コアとなる繋ぐ・切る（オン・オフ）技術を軸に、社会課題に取り組んでおります。その中で代表的な商品であるリレーにおいて、接触信頼性を高めるため分析を行っております。電気を安定的に接続するために重要となる接点については、各種装置を導入し分析と技術構築をしており、特にEPMAが有効であった接点表面の分析事例について、紹介します。	オムロン株式会社徳永陽子様
13:35～14:10	大陸地殻岩石のペトロクロノロジー的研究におけるEPMAの活用事例〜微量元素マッピング、微量元素温度計、CL像、ジルコン/モナズ石年代のコンビネーション〜大陸地殻を構成する変成岩類は、地球史の中で繰り返し起きてきた大陸衝突やプレートの沈み込みなどの地質イベントを記録しています。こうした記録を岩石から解読するのに不可欠なツールが、EPMAです。本講演では、鉱物の微量元素マッピング、鉱物の微量元素濃度を利用した温度見積もり、年代測定におけるCL像の活用など、鉱物年代測定結果と岩石の温度・圧力履歴をリンクする地質学的な研究手法 (ペトロクロノロジー) におけるEPMAの活用事例について紹介します。	国立大学法人京都大学河上哲生様
14:10～14:40	定量マップにおける新しいバックグラウンド処理〜疑似バックグラウンド除去機能 (PBS) の紹介〜電子プローブマイクロアナライザーでバックグラウンド (BG) 補正マップを取得する際、ピーク位置、オフピーク位置で計測し正味X線を算出する方法が主に用いられています。この手法は精度の良い元素分布が得られる一方で、測定時間が長くなります。今回、BGを実測することなくBG補正マップを作成する「疑似バックグラウンド除去機能 (PBS)」を開発しました。 PBS利用による定量マップと、検量線法による濃度化マップとの違いについて紹介します。	日本電子株式会社 SA事業ユニット SA技術開発部脇元理恵
14:40～15:10	休憩/実機・ポスター展示
15:10～15:45	神津島オブシディアン・シャトル〜海を渡った旧石器人〜伊豆諸島の一つ神津島には、大規模な黒曜石の原産地があります。後期旧石器時代の初期 (約38,000年前) から約3000年以上にわたって、旧石器人は海を越えてこの黒曜石を運び、石器の材料として利用しました。これは世界でも最も古い往復航海であると考えられています。講演では、黒曜石の生成過程と化学組成について説明し、エネルギー分散型蛍光X線分析装置による原産地推定の概要や、アメリカに持ち込んで実施された中性子放射化分析による検証結果について紹介します。また当時の伊豆沖の海流や、それをどうやって乗り越えて神津島に到達したのかという謎についても検討します。	明治大学黒耀石研究センター池谷信之様
15:45～16:15	機器分析の基礎とめっきに対する応用例めっきは素材表面に薄い金属膜を被覆し、素材の持つ特性とは異なる装飾性、耐食性、電気特性などの特性を付与できる方法の一つです。めっきは半導体のような最先端の分野まで含めて幅広く用いられています。めっきの品質としてその膜厚や組成、そして欠陥がないことなどが重要となります。今回の発表ではめっきの品質を示すこれらの情報を様々な機器を用いて観察・分析を行いましたので、それらの結果について紹介します。	日本電子株式会社アプリケーション統括室島政英
16:15～16:45	EPMA初心者へのワンポイントアドバイス〜分析前に再確認！その試料本当に導通取れていますか？〜電子プローブマイクロアナライザー (Electron Probe Micro Analyzer: EPMA) は、分析精度の高さや試料作製の簡便さから元素分析に幅広く用いられています。しかし、非導電性試料をそのまま導入した場合、電子線照射による電子の逃げ道がなくなり、電荷が溜まることで帯電現象が生じます。この帯電現象は、観察像だけでなく元素分析結果にも悪影響を及ぼすため、試料導入前に適切な処理が必要です。本発表では、帯電現象の各種事例とその対策についてご紹介致します。	日本電子株式会社科学・計測機器サービス事業部サービス企画推進本部 R&D推進部武山みなみ
16:45～16:55	閉会挨拶
16:55～18:00	懇親会/実機・ポスター展示