SEM・表面分析・前処理セミナー＠福岡
公開日： 2023/05/11
SEM・表面分析・前処理セミナー＠福岡は、会場での開催を予定しております。 オンラインでの配信はございません。
さまざまな分野を網羅した新技術や実践的技術などの役立つ情報をご案内いたします。
また、会場ではポスターコーナーとCP試料作製について相談コーナーを設置します。
このコーナーにつきましては事前予約制とさせていただきます。ご希望される方は申し込みフォームにご記入ください。
講演終了後には懇親会を予定しておりますので、情報交換の場として有意義にご歓談いただければ幸いです。
当セミナーは弊社装置をお使いの方に限らず、他社装置をお使いの方、装置にご興味がある方、どなたでもご参加できる無料のセミナーです。
ご多忙の折とは存じますが、皆様のご参加を心よりお待ち申し上げております。
ご連絡
- 新型コロナウイルス感染症予防対策といたしまして、今後の状況次第では開催方法に変更等が発生する場合がございます。あらかじめご了承ください。
- ご来場の際、受付でお名刺を2枚頂戴いたします。お手数ですが事前にご用意をお願いいたします。
- 開催終了後、配布資料のダウンロードおよび、ホームページに発表動画の掲載は行いません。
- 同業他社様、代理店様のご登録はお断りする場合がございますので、ご了承ください。
開催日
2023年11月29日（水）
お申し込み締め切り
2023年11月22日 (水)まで
会場
TKPガーデンシティPREMIUM天神スカイホール 16F
〒810-0001 福岡県福岡市中央区天神1-4-1 西日本新聞会館 16階
地図はこちら
参加費
無料
定員50名先着順とさせて頂きます。
定員になり次第締め切りとさせていただきますので、お早めにお申込ください。
プログラム
| 時間 | 題名 要旨 |
講演者 |
|---|---|---|
| 9:30～ | 受付 | |
| 10:00～10:10 | 開会挨拶 | |
| 10:10～10:50 | 新型SEM JSM-IT210/JSM-IT710HRの紹介
走査電子顕微鏡 (SEM)は製造現場、品質保証から研究開発まで、幅広い用途で用いられ、測定対象となる試料は金属、半導体、バイオ、高分子、電池など、多岐に渡ります。 各業界から求められるのは測定したデータの質、信頼性はもちろんのこと、スループットも重視されつつあります。 このようなニーズに応えるため、弊社は、簡単な操作であらゆるデータのアウトプットが可能な2種類のSEMを販売開始しました。 本講演では、熱電子放出形のJSM-IT210とショットキー電界放出形のJSM-IT710HRの特長と応用事例について、紹介いたします。 |
日本電子株式会社 EP事業ユニット EP技術開発部 根本 佳和 |
| 10:50～11:20 | SEMによる粒子解析に適した試料分散方法の紹介
粉体材料は、3D造形や電池材料、化粧品など、様々な分野で使用されており、それらの製品の特性に応じた大きさや形状の管理が重要です。粒子が μmからnmオーダーの大きさの場合、SEMを用いた粒子解析が有効です。SEMの粒子解析は、基板上に粒子を分散して測定を行いますが、粒子同士が重なっていると粒子の正確な大きさを得ることが困難になります。したがって、正確な測定には粒子を適切に分散させることが重要です。本講演では、SEMの粒子解析に適した分散方法を粒子サイズごとに検討した結果を紹介します。 |
日本電子株式会社 EP事業ユニット EPアプリケーション部 高山 隼 |
| 11:20～11:50 | 定量マップにおける新しいバックグラウンド処理 ～疑似バックグラウンド除去機能 (PBS) の紹介～ 電子プローブマイクロアナライザーでバックグラウンド (BG) 補正マップを取得する際、ピーク位置、オフピーク位置で計測し正味X線を算出する方法が主に用いられています。 この手法は精度の良い元素分布が得られる一方で、測定時間が長くなります。 今回、BGを実測することなくBG補正マップを作成する「疑似バックグラウンド除去機能（PBS）」を開発しました。PBS利用による定量マップと、検量線法による濃度化マップとの違いについて紹介します。 |
日本電子株式会社 SA事業ユニット SA技術開発部 脇元 理恵 |
| 11:50～12:20 | 昼食 | |
| 12:20～13:00 | 実機・ポスター展示 | |
| 13:00～13:30 | 長時間！高品質！SEM自動測定の秘訣
SEMの自動測定用ソフトウェアを用いると長時間の自動測定が行えますが、良いデータを取得し続けるためにはいくつかのポイントがあります。長時間にわたり安定したデータ取得を行うために押さえておくべきポイントや画像解析ソフトウェアで認識しやすいデータ取得方法、Pythonを用いた自由な制御方法などをご紹介します。 |
日本電子株式会社 EP事業ユニット EPアプリケーション部 河野 林太郎 |
| 13:30～14:00 | 新型ウィンドウレスEDS検出器 ドライSD™ Gather-Xの最新動向
昨年8月にリリースいたしましたドライSD™ Gather-Xは、「全エネルギー帯の高感度分析」「高空間分解能MAP」「使いやすさと安心操作」をコンセプトに応用の幅を拡げています。リリースから1年あまり、適用機種を拡大し、複数検出器の搭載も可能となりました。本講演では、Gather-Xの特長と、電池材料、触媒、半導体、電子部品などの様々な材料への活用事例について紹介します。 |
日本電子株式会社 EP事業ユニット EPアプリケーション部 山口 祐樹 |
| 14:00～14:30 | 失われたエネルギーに注目したら電子状態が見えてきた ～AESを利用したREELSの基礎～ オージェ電子分光装置は、オージェ電子に限らず二次電子や反射電子なども分光分析することができます。中でも反射電子を利用したエネルギー損失分光法 (REELS) は、薄片化が必要なく比較的簡単に固体試料表面数nmの化学状態・電子状態をダメージレスに分析可能です。そのため半導体分野などで活用されています。 そこで本講演では、オージェ電子分光装置 (JAMP-9510F) を使用したREELSの最適な測定条件や注意点について、アプリケーション事例などを交えながら紹介します。 |
日本電子株式会社 SA事業ユニット SA技術開発部 伊木田 木の実 |
| 14:30～15:00 | XPSの波形分離でお困りの方へ ～パラメータ固定を利用した波形分離のコツ紹介～ XPSを用いて化学結合状態分析を行う際、ガウスローレンツ関数を用いた波形分離計算がよく行われます。 オペレーションが容易で、様々な試料の化学結合状態分析を可能にする一方、ピークが明瞭に分裂していないスペクトルに対しては誤った結果を与える可能性があります。本発表では、日本電子製XPSソフトウェアSPECSURFを用いて、パラメータ値の固定機能を活用した波形分離計算の方法を実例とともに紹介します。 |
日本電子株式会社 SA事業ユニット SA技術開発部 村谷 直紀 |
| 15:00〜15:40 | 休憩/実機・ポスター展示 | |
| 15:40～16:20 | 新型FIB-SEM JIB-PS500iの紹介
最近の半導体デバイスの複雑化に伴い、微細な目的箇所で、高品質なSEM・TEM用試料を作製することが求められています。その要求に応えるために、「目的箇所を正確に認識するSEM性能」、「加工ダメージを最小限に抑えるFIB性能」、「加工から観察までのスムーズかつ安全な操作性」を備えるJIB-PS500iが開発されました。本講演ではJIB-PS00iの特長とアプリケーションについてご紹介いたします。 |
日本電子株式会社 EP事業ユニット EPアプリケーション部 中島 雄平 |
| 16:20～16:50 | 透過電子顕微鏡を使いこなすための基礎と実践的テクニック
透過電子顕微鏡は微細構造の観察にとどまらず様々な応用が可能な手法です。本発表では透過電子顕微鏡から材料解析のために有効な様々なデータを得るための原理とテクニックを紹介します。 |
日本電子株式会社 EM事業ユニット EMアプリケーション部 島 政英 |
| 16:50〜17:00 | 閉会挨拶 | |
| 17:00～18:00 | 懇親会/実機・ポスター展示 |
※プログラムは予告なく変更になる場合がございます。あらかじめご了承くださいますようお願い申し上げます。
消耗品ご優待販売キャンペーン
10％OFFにて、売れ筋の消耗品をピックアップいたします。
キャンペーン期間：2023年11月30日 (木) ～12月28日 (木)
お申し込み方法
お申し込み締め切りを過ぎたため受付を終了しました。
お問い合わせ
日本電子株式会社
ユーザーズミーティング事務局
E-mail： jeolum[at]jeol.co.jp
- [at]は@にご変更ください。
