新型走査電子顕微鏡JSM-IT300HRを販売開始 ―新開発の高輝度電子銃とレンズ系による高性能SEM―

2016/09/07

日本電子株式会社 (代表取締役社長 栗原 権右衛門) は、この度、新開発の高輝度電子銃とレンズ系を搭載することで、高画質観察やサブミクロン領域の元素分析データをより容易に取得できる新型走査電子顕微鏡JSM-IT300HRを開発し、販売を開始しました。

開発の背景

走査電子顕微鏡(SEM)はナノテクノロジー、金属、半導体、セラミックスや医学・生物学の分野など、様々な分野で活用され、益々その用途を広げています。また、使用される目的も基礎研究から製造現場、品質管理まで幅広くなっています。それに応じて、電子顕微鏡をリサーチ目的だけでなく、より簡単にデータを取得したいという需要が高まっています。

JSM-IT300HRは、このような需要の変化を背景に、ご好評を頂いている当社InTouchScope™シリーズに新開発の高輝度電子銃とレンズ系を搭載し、今までの汎用型SEMの常識を覆す高画質観察と高空間分解能分析をより簡単に行えるSEMです。

操作系はInTouchScope™シリーズでご好評のタッチパネル操作を採用、オート機能や標準レシピ機能を利用することで煩わしい条件設定をすることなく、高品質のデータを容易に取得できます。さらに自社製エネルギー分散形X線分析装置(EDS)をインテグレーションすることにより、観察から元素分析までシームレスにデータの取得を行えます。

低真空観察機能を装備したJSM-IT300HR(LV)、低真空観察機能およびEDSを標準装備したJSM-IT300HR(LA)の2モデルからご選択いただけます。

主な特長

  1. 新開発の高輝度電子銃とレンズ系により高画質観察と高空間分解能分析が可能
  2. タッチパネル操作、オート機能や標準レシピ機能により直感的で快適な操作が可能
  3. 観察から元素分析まで完全にインテグレーションされたGUIにより、分かりやすい一貫した操作手順を実現
  4. ドローアウト方式の大型試料室により、幅広い試料の観察・分析に対応
  5. 今までの汎用型SEMと同等の省設置スペース
JSM-IT300HR(LA)
※写真はJSM-IT300HR(LA)

本体標準価格

  • JSM-IT300HR(LV) 39,000,000円~
  • JSM-IT300HR(LA) 59,000,000円~

販売予定台数

50台/初年度

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