新型走査電子顕微鏡JSM-IT500シリーズ InTouchScope™ を販売開始 ― 毎日の分析業務をさらに早く!より楽に! ―

2017/03/13

日本電子株式会社(代表取締役社長 栗原 権右衛門)は、新型走査電子顕微鏡JSM-IT500シリーズを開発し、 2017年3月より販売を開始しました。

開発の背景

走査電子顕微鏡はナノテクノロジー、金属、半導体、セラミックスや医学・生物学の分野など、様々な分野で活用され、益々その用途を広げています。また、使用される目的も基礎研究から製造現場、品質管理まで幅広くなっており、それに応じて、より早く、より簡単に観察・分析データを取得したいという需要が高まっています。
こうしたニーズに応え、スループットの向上を図るために、ご好評を頂いている当社InTouchScope™の操作性をさらに進化させたJSM-IT500シリーズを開発しました。毎日の分析業務がさらに早く、より楽に行え、スループットが従来機種よりも約35%向上しました。(当社比)

主な特長

  1. 走査電子顕微鏡(SEM)とエネルギー分散形X線分析装置(EDS)のインテグレーション
    SEMとEDSのインテグレーションがさらに進化し、観察から分析までシームレスに効率良く行えます。
  2. 新開発Zeromag
    Zeromag機能は光学顕微鏡感覚で視野移動ができ、多視野にわたる観察・分析でも素早く快適な視野探しが可能です。
  3. 新開発Live Analysis
    観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、効率の良い元素分析が可能です。
  4. 取得データを一元管理できるSMILE VIEW™ Lab
    観察画像や元素分析結果を一元管理し、短時間で全データのレポート作成が容易に行えます。
  5. 試料交換ナビ
    ナビゲーションフローに従って作業を行うことで安全・簡単・確実に進めることができます。

主な仕様

分解能 高真空モード: 3.0 nm (30 kV)  15.0 nm (1.0 kV)
低真空モード: 4.0 nm (30 kV 反射電子像) 
写真倍率 ×5~×300,000
 (128 mm×96 mmを表示サイズとして倍率を規定) 
表示倍率 ×14~×839,724
 モニタ上の画像倍率 (358 mm×269 mmを表示サイズとして倍率を規定)
電子銃 タングステンフィラメント
加速電圧 0.3kV~30kV
照射電流 1pA~1μA
低真空圧力設定範囲 10~650Pa
自動機能 フィラメント調整、ガンアライメント調整、
フォーカス/非点/明るさ/コントラスト調整 
最大試料寸法 試料最大径  200 mm  試料最大高さ 90 mm
試料ステージ 大形ユーセントリック式
X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm  傾斜:-10~90° 回転:360°
標準レシピ あり(EDS条件を含む) 
画像モード 二次電子像、REF像、組成像 、凹凸像 、立体像  
EDS機能 スペクトル分析、定性分析・定量分析、
ライン分析(水平ライン分析、任意方向ライン分析)、
元素マッピング、プローブトラッキング 

JSM-IT500
※仕様および写真はJSM-IT500(LA)

本体標準価格

20,000,000円~

販売予定台数

200台/年間

関連リンク