2018/12/11

日本電子株式会社(代表取締役社長 栗原 権右衛門)は、この度、ハイスループット解析電子顕微鏡JEM-ACE200Fを開発し、2018年12月より販売を開始しました。

開発の背景

近年、半導体業界ではプロセスの微細化に伴い、透過電子顕微鏡を使用した構造・局所歪み・ドーパント濃度等の解析が重要となっています。特に形態観察、測長、元素分析のデータを、安定的に高分解能且つハイスループットで取得・解析し、プロセスにフィードバックするニーズが高まっています。当社はこれらのニーズに応えた電子顕微鏡JEM-ACE200Fを開発しました。

このJEM-ACE200Fでは操作ワークフローのレシピを作成することによって、オペレーターは直接電子顕微鏡操作を行わなくてもデータを取得できます。電子顕微鏡本来の性能や安定性は高評価を得ているハイエンド電子顕微鏡JEM-ARM200Fや汎用FE-TEM JEM-F200のハードウェアテクノロジーを統合し、また外観も洗練されたデザインに一新しました。

主な特長

  • ハイスループット
    • 自動調整機能の組み合わせによる短時間データ取得(TEM/STEM)
    • 試料ホルダー挿入から観察開始まで30秒以内(排気時間短縮)
  • ユーザーフレンドリーなインターフェイス
    • 操作手順を考慮した洗練されたGUI
    • マウスのみでオペレーション可能
  • 容易なレシピ作成・変更が可能
    • 直感的な操作ワークフローの作成
    • プログラミング言語による自在なワークフローの作成
  • 設置環境を考慮した設計
    • 耐環境に優れたエンクロージャー採用
    • リモート操作が可能

主な仕様

TEM分解能 (200kV時) 粒子像 0.21nm
格子像 0.10nm
インフォメーションリミット 0.11nm
STEM分解能 (200kV時) 暗視野透過電子走査像 0.136nm
明視野透過電子走査像 0.136nm
電子銃 ショットキー電界放出形電子銃(TFEG) ZrO/W(100)エミッター
加速電圧 60kV~200kV
(80kV、200kV標準対応、その他の加速電圧は別途オプション)
試料移動 X,Y ±1.0mm  Z ±0.2mm
試料傾斜角 TX/TY(二軸傾斜ホルダー) ±20°/±25°
TX(専用高傾斜ホルダー) ±80°
オプション エネルギー分散形X線分光器(EDS)、電子線エネルギー損失分光器(EELS)、多試料自動搬送装置、統合TEM制御システム(Automation Center)、TEM/STEMトモグラフィシステム
JEM-ACE200本体

販売予定台数

30台/年間