第41回 EPMA・表面分析ユーザーズミーティング (東京)

公開日： 2022/05/26

更新日： 2022/12/14

本年のEPMA・表面分析ユーザーズミーティングは大阪・東京の会場で開催すると同時にWEBでの同時配信を行う予定です。
ただし『EPMA分析の留意点～前処理が分析に及ぼす影響～』についてはWEB配信を行わず、会場にいらした方のみの聴講となります。

例年と同様、外部講師の先生の発表を含め、さまざまな分野を網羅した新技術情報や実践的な内容を発表いたします。

また会場では、装置 / パネル / 技術ポスターを展示し、弊社営業及びアプリケーション担当者との活発な交流の場としていただければ幸いです。
ご多忙の折とは存じますが、皆様のご参加を心よりお待ち申し上げております。

※ 新型コロナウイルス感染症予防対策といたしまして、今後の状況次第では開催方法に変更等が発生する場合がございます。予めご了承いただきたくお願いいたします。

主催: 日本電子株式会社

開催日/会場

日程:
2022年10月28日 (金)
会場:
浅草橋ヒューリックホール
〒111-0053 東京都台東区浅草橋1-22-16 ヒューリック浅草橋ビル 2階
地図
アクセス：
JR総武線「浅草橋駅 (西口)」より徒歩1分
都営浅草線「浅草橋駅 (A3出口)」より徒歩2分

※1階のオフィスエントランスからは来場いただけません。外階段、又は外エレベーターから2階へご来場をお願いします。

お申し込み方法

参加費:
無料
申込締切:
10月21日(金)
※定員になりましたので、締め切らせていただきます。

プログラム

時間	題名要旨	講演者
09:30 ～	受付
10:00 ～ 10:10	開会挨拶
10:10 ～ 10:40	ビームダメージに弱い試料のEPMA分析手法電子プローブマイクロアナライザー (Electron Probe Micro Analyzer：EPMA) は、大電流で局所微量元素分析を精度よく行える装置として広く知られています。よって、比較的低い照射電流で測定を行うSEM+EDSと比べると、ビームダメージに弱い試料の分析は得意でないとされてきました。しかし近年、EPMAでも樹脂やガラスといった試料の微量元素分析の需要が高まっています。今回は、ビームダメージの原因について考察し、ビームダメージに弱い試料のEPMA分析手法について実試料を用いた分析事例を紹介します。	日本電子株式会社 SA事業ユニット SA技術開発部上條栞
10:40 ～ 11:15	蛍光X線分析法の特徴といくつかの適用例蛍光X線分析法は、固体試料や液体試料を直接、元素分析できる便利な手法です。試料をセットしパソコンを操作すれば定量値が得られます。しかし、より良い精度と信頼性の高い結果を得るためには、蛍光X線分析の仕組みや蛍光X線分析装置に付随する機構を理解しておくことが重要です。そこで、本講義では蛍光X線の発生原理、検出器の原理、フィルターの効果、および装置構成を説明します。試料におけるマトリックス効果やスペクトルの見方なども解説する。その後、いくつかの適用例を紹介します。	公立大学法人大阪大阪公立大学辻幸一様
11:15 ～ 11:45	液体試料の分析をされる方必見！ヘリウムフリーで軽元素の分析が可能になります～XRF用アタッチメント"低真空液体試料カプセル"のご紹介～ XRFを用いて液体試料中の軽元素を分析する際、試料室雰囲気を真空にする必要があります。しかし、真空にすると液体状態を保持することができなくなるため、正確な分析が困難になります。このような背景から、真空雰囲気でも安全に使用でき安定したX線強度を得ることができる低真空液体試料カプセルを開発しました。本カプセルを用いることでヘリウム置換を行わずに軽元素の高感度分析が可能になりましたので紹介します。	日本電子株式会社 SA事業ユニット SA技術開発部村谷直紀
11:45 ～ 12:15	昼食
12:15 ～ 13:00	実機・ポスター展示
13:00 ～ 13:35	薄膜試料を用いたFE-EPMA高分解能分析手法のご紹介数十mmから数μm領域の元素分析が可能なFE-EPMA (電界放出 (型) 電子線マイクロアナライザー) は、様々な評価解析に有効な装置です。今回の講演では、X線分解能の向上を目的とし、鉄鋼材料を100nm程度に薄膜化した。高分解能分析を実施した事例等をご紹介します。	日鉄テクノロジー株式会社縄舩泰輝様
13:35 ～ 14:05	SXESを用いた定量分析への取り組み SXESで計測可能な発光スペクトルは、価電子帯近傍の電子遷移により、化学結合状態を反映しスペクトル形状が変化することが多い。また、発光ピークと吸収端が近接するためスペクトル変形し、定量分析精度が低下してしまいます。本発表では、このような特徴を持つSXESの発光スペクトルを用いた定量分析を実施した場合の注意点を説明します。また、より内殻遷移に起因するスペクトルを用いて定量分析を実施し、比較検討した結果を紹介します。	日本電子株式会社 SA事業ユニット SA技術開発部高倉優
14:05 ～ 14:40	Spectrum Image、始めました～オージェ電子分光装置の新たなマッピング方法による測定事例紹介～北海道大学ではオージェ電子分光装置(JAMP-9500F)を共同利用機器として学内外の研究者・企業にご利用頂いています。今年度より新たにSpectrum Imageを導入し、様々な試料の分析に活用し始めました。従来のオージェマッピングでは目的とするエネルギーエリア数点だけの信号を取得して元素分布を表現していましたが、Spectrum Imageでは視野内の各ピクセルでスペクトル情報を読み取れるため、多くの情報を元にマッピング評価が行えるようになりました。本講演ではLiを含むハイエントロピー合金などへの実用例をご紹介致します。	国立大学法人北海道大学鈴木啓太様
14:40 ～ 15:10	休憩 / 実機・ポスター展示
15:10 ～ 15:40	miXcroscopy™ for EPMAの宇宙地球惑星物質科学への適用事例～分析位置記録、高解像度広域画像取得、相量比測定機能～ EPMA分析前処理の効率化のために開発された miXcroscopy™ for EPMA を宇宙地球惑星物質に適用した例を紹介します。このシステムは効率的な分析位置入力機能だけではなく、迅速に高解像度広域画像を取得できる能力を活かして重要な数センチメートルスケールの構造についての情報を得ることも可能です。さらに高精度のステージ駆動性能を応用して相の特定と量比を計測して最も基礎的なデータである試料の記載分類にも使用できることを示します。	国立大学法人東京大学吉田英人様
15:40 ～ 15:55	装置シェアリング・ Web立ち合いについてのご案内 2020年春以降、新型コロナウイルスの拡大に伴い、テレワーク導入や人流の制限により産業界においては業務の遅延や生産・物流の遅延が発生しさまざまな業種において自社研究開発計画や設備導入計画にも支障が現れるようになりました。その中でWEB受託分析やシェアリングをいち早く導入していた弊社は、TEM,SEM,EPMAをはじめAES,XPS,SPMについても積極的に皆さまのお役に立てるよう事業を展開しております。	日本電子株式会社フィールドソリューション事業部サービス企画推進本部Ｒ＆Ｄ推進部末吉孝
15:55 ～ 16:30	EPMA分析の留意点～前処理が分析に及ぼす影響～高い波長分解能と微量元素分析能力を有する電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）は固体表面の微小領域の非破壊分析装置として幅広い分野で使用されています。 EPMAはWDS(波長分散型分光器)を用いて精度の高い元素分析を行う事が出来ますが、正確な分析結果を得るためには試料の前処理が重要です。本発表では、研磨や蒸着といった前処理における留意点および前処理が分析結果に及ぼす影響について紹介します。 ※ WEB配信を行いません。会場にいらした方のみの聴講となります。ご了承いただきたくお願いします。	日本電子株式会社フィールドソリューション事業部サービス企画推進本部Ｒ＆Ｄ推進部土門武
16:30 ～ 16:40	閉会挨拶
16:40 ～ 17:30	実機・ポスター展示