待機時のHe消費量を削減する方法 ~JMS-TQ4000GC, JMS-Q1600GC, JMS-Q1500GC版~
公開日: 2021/10/29
非測定時(待機状態)のキャリアガス消費量を削減する場合、下記の手順に従い待機状態のメソッドを作成し、シーケンスの最後に読み込ませます。
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デスクトップ上のmsPrimoアイコン(
)をタブルクリックし、プログラムを起動します。
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メソッド選択ウィンドウより、メソッドファイルを開くボタン(…)をクリックします。
- ダイアログより通常使用しているメソッドファイルを選択して開くボタンをクリックします。
- 8890GCもしくは7890GCの編集ボタンをクリックします。
- Front注入口のタブを選択し、注入口枠内の項目を以下のように設定します。
① モードの項目で、『Split』を選択します。
② スプリット比を15以上の値で入力します。
③ 8890GCもしくは7890GC Methodウィンドウを×ボタンで閉じます。
- メソッド選択ウィンドウにて、別名保存のボタンをクリックします。
- ダイアログより任意のメソッドファイル名(例:待機メソッド.met)を入力し、保存ボタンをクリックします。
- シーケンスにて、上記で作成したメソッドを最後の行に入れて(処理項目=メソッド設定を選択)、測定を開始します。