BS-102UGA 102UHO/UBシリーズ専用グリッドアッセンブリ「多層膜蒸着用途」のお客様、「フィラメント寿命でお悩み」のお客様にオススメです

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特長 STRONG POINT

BS-102UGA 102UHO/UBシリーズ専用グリッドアッセンブリ
本製品は長寿命フィラメントを搭載した102UHO/UBシリーズ専用のグリッドアッセンブリです。
P/N 品名 規格
780407580 グリッドアッセンブリ BS-102UGA

特長

  • 長寿命フィラメント搭載
  • フィラメントの長寿命化を実現
  • 既存グリッドアッセンブリと類似構造
  • 使用条件により2種類のフィラメントを選択可能
  • イオンスパッタ影響による消耗部品コスト50%削減

部品構成

※本製品にはフィラメントは付属されておりません。

部番 パーツナンバー 品名
M500 821362542 ウェーネルト P/N821362542 ウェーネルト
M501 821362526 イオンコレクター P/N821362526 イオンコレクター
M502 820549053 ホルダーA P/N820549053 ホルダーA
M503 821362534 ホルダーB P/N821362534 ホルダーB
M12 801314941 サポート P/N801314941
M15 802161031 インシュレータ P/N802161031 インシュレータ
M10 411002775 ボルト M3×8 -
M8 411003682 ボルト M3×12 -
M6 411002783 ボルト M4×6 -
M14 411003640 ボルト M4×25 -

各種フィラメント

パーツナンバー 品名 規格
812180313 フィラメント
(長寿命タイプ)
D=0.55φ 5個入
864351704 フィラメント
(長寿命足補強タイプ)
D=0.55φ 5個入

組立治具

部番 パーツナンバー 品名
M504 821361210 BS-102UGA用
組立治具
P/N821361210 組立治具P/N821361210 組立例

参考データ

加速試験グラフ
※社内加速試験による結果です。
【加速試験条件】
真空度 3.0×10-2Pa
O2流量 115mL/min
投入電力 2.4kW
(6kV/400mA)

標準GAとの溶け跡比較

標準GA 102UGA 特記事項
ZrO2
  • 添付の溶け跡は一例です。
  • 電子銃の状態やチャンバー雰囲気によって溶け具合は異なりますので、予めご了承ください。
  • 使用状況により、エミッション電流が増加する場合がございます。
  • 可能な範囲で溶け跡調整を実施致します。(有償)

調整後の溶け跡例
SiO2
Ta2O5
※標準GAのフィラメントは0.55φスパイラル型です。


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