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特長 STRONG POINT

BS-60060DEBS 270°偏向型電子銃
基板に入射する反射電子を極めて低減した電子銃です
BS-60050EBS型の特長・機能を継承し、更なるフィラメント長寿命化や再現性の向上を実現しました。
  • 270°電子ビーム偏向
  • 従来型フィラメントに比べて大幅に長寿命化(U字形フィラメント)
  • 基板方向へ飛散する反射電子を著しく低減し、基板へのダメージや膜の吸収を低減させる事が可能
  • 加速電圧可変機能を搭載し、真空チャンバーを大気開放せずに加速電圧の切替えが可能
  • ガイド機構によるグリッドアッセンブリ組立再現性と、優れたビーム特性の再現性
  • フィラメント交換やクリーニングにおけるメンテナンス性を向上
  • JEBG-102UH0電子銃(180°偏向型)と形状互換性があり、載せ変えが可能

溶け跡例

電子ビームは蒸発材料に対して垂直に照射され、ビームスポットは真円に近くエネルギー密度が高いのが特長です。
更に高速のスキャニング機能を標準装備しているため、高融点で熱伝導の低い酸化物や昇華性材料への蒸着に適しています。
良好な溶け跡が得られ、広い成膜エリアにおいて 均一で再現性のある膜厚分布が得られます。

溶け跡例

仕様/オプション SPEC / OPTION

最大出力 6.4kW (-8kV, 0.8A)
加速電圧可変範囲 -4kV~-8kV
ビーム偏向角 270°
XY走査幅 ±20mm
冷却水流量 5~8L/min (水温10~25℃)
動作圧力 5×10-5~7×10-2Pa
外形寸法 180mm(W)×215mm(D)×140mm(H) ※突起物除く

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