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特長 STRONG POINT

EC-32010CC カーボンコーター
カーボンコーターは、走査電子顕微鏡などの元素分析用の試料に、カーボン蒸着を行う試料作製装置です。
  • 蒸着源には高純度の専用カーボン棒を使用しており、 不純物の少ない膜が仕上がります。
  • カーボン棒をクリップ状の電極に簡単にセットすることができます。
  • 試料台の高さを調整することで膜厚を調整できます。

仕様 SPEC

使用圧力 20 Pa以下
排気速度 3 Paまで10分以内(試料が無い場合)
カーボン電極 1組
蒸着源 専用カーボン棒(直径 1mm)
試料台 直径 64 mm
蒸着源-試料台距離 135~165 mm
ベント時間 30秒
排気系 直結型ロータリーポンプ 135 L/min
過温度保護機能組込み
サービスコンセント 1個 AC100V 1A (試料回転傾斜装置用)
 

設置形態

本体 卓上設置型
ロータリーポンプ 床置型

寸法、質量

本体 W350 mm×D420 mm×H440 mm 約18 kg
ロータリーポンプ W170 mm×D487.5 mm×H249.5 mm 約27 kg

設置条件

電源 単相 AC 100 V、50/60 Hz、1.4 kVA
接地 D種接地(100 Ω以下)
室温 20±5 ℃
湿度 60 %以下
保護等級 IP30

オプション

試料回転傾斜装置(EC-30030RTS)
試料の凸凹による回り込み不足を改善することができます。
回転速度 50±10 rpm(モーター駆動)
傾斜角度 水平~90° (手動)
試料ホルダ 直径12.5 mm、4個用/直径32 mm、1個用
電源 AC 100 V、50/60 Hz、30 VA
適用機種 EC-32010CC カーボンコーター
構成 本体 1台、ガラスシリンダー 1個、付属品1式
EC-30030RTS

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