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特長 STRONG POINT

IB-10500HMS クロスセクションポリッシャ™ ハイスループットミリングシステム

ハイスループット加工

新開発イオンソースにより断面ミリングレート
1.2mm/h*2 (従来比2.4倍) 以上

イオンソース電極の最適化および高加速電圧化により、イオンビーム電流密度を向上させました。
新開発のイオンソースは、断面ミリングレート1.2mm/h (従来比2.4倍) 以上を実現しました。

新開発イオンソースの断面ミリングレート

試料:シリコンウエハー
加速電圧:10kV
加工時間:1時間

新開発イオンソースの断面ミリングレート

低融点合金の断面ミリング(冷却)

加速電圧:10kV
加工時間:30分

右のSEM像は、融点150°CのSn-Bi系合金です。低融点金属は加工熱によって融ける可能性があるため、冷却して加工する必要があります。
試料を冷却保持*3してハイスループット加工することで、短時間でダメージを低減した断面が得られます。

低融点合金の断面ミリング (冷却)

広域平面ミリング *1,*4

より広領域 平面ミリング を実現

試料の広範囲にイオンビームを照射することができるようになりました。
平面ミリングは、試料表面に生じた機械研磨のキズや結晶歪みの除去に有効です。

コンクリートの平面ミリング

加速電圧:10kV
加工時間:20分

幅20mmのコンクリートを広域で平面ミリングしました。
ミリング後では、研磨キズやコンタミネーションが除去され、コンクリートに含まれる石やセメントなどの粒子が明瞭に観察できます。

コンクリートの平面ミリング

*1:ハイスループット仕様オプションを搭載したIB-19530CPまたはIB-19520CCPの機能です。
*2:1時間加工、Si換算、エッジ距離100μm
*3:IB-19520CCP搭載機能です。
*4:大形試料回転ホルダーIB-11550LSRHが必要です。
※画面キャプチャ等は開発中のものを含みますので、変更となる可能性があります。

カタログ

仕様/オプション SPEC / OPTION

ハイスループット仕様 *1
形式 IB-19530CP+IB-10500HMS IB-19520CCP+IB-10500HMS
イオン加速電圧 2~10kV
ミリングスピード 1.2mm/h 以上 (加速電圧10kV)*2
試料スイング機能 *3 ±30°自動スイングモード、任意角度設定モード
自動加工開始モード
自動冷却加工開始モード / 自動室温復帰モード
試料ステージ冷却到達温度 -120°C以下
冷却温度設定範囲 -120~0°C
試料冷却-100°C到達時間 60分以内
試料冷却保持時間 8時間以上 *4
大気非曝露機能
間欠加工モード イオンビーム照射時間と停止時間を設定可能 (ON: 1~999秒、OFF: 1~999秒)
仕上げ加工モード 自動的に加工条件切り替え
広域断面ミリングモード *5 最大加工幅:8mm (オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH)
広域平面ミリングモード *6
最大搭載試料サイズ 断面ミリング 11mm(幅)×10mm(長さ)×2mm(厚さ)(IB-19530CP標準付属試料ホルダー)
11mm(幅)×8mm(長さ)×3mm(厚さ)(IB-19520CCP標準付属試料ホルダー)
25mm(幅)×15mm(長さ)×10mm(厚さ)(オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH)
平面ミリング 40mm(直径)×15mm(厚さ)(オプション: 大形試料回転ホルダーIB-11550LSRH)
試料移動範囲 X軸: ±6mm、Y軸: ±2.5mm
操作法 タッチパネル、6.5型ディスプレー
加工位置合わせ法 カメラにより試料ステージ上をモニター *7
光学顕微鏡下でも加工位置調整可能
位置合わせ用カメラ倍率 約×70 (6.5型ディスプレー上)
加工観察用カメラ倍率 約×20~×100 (6.5型ディスプレー上)
※IB-19530CP+IB-14510MCAM *8 およびIB-19520CCP
外部モニター出力 位置合わせ用カメラと加工観察用カメラを切り替えて外部モニターに表示可能
※IB-19530CP+IB-14510MCAM *8およびIB-19520CCP+EC-10020VST *9
プリセット機能 加工条件 (加速電圧、アルゴンガス流量、加工時間、間欠加工)を4組プリセット
寸法・質量 本体 545mm(幅)×550mm(奥行)×420mm(高さ)、約66kg (IB-19530CP+IB-14510MCAM)
690mm(幅)×720mm(奥行)×530mm(高さ)、約75kg (IB-19520CCP)
ロータリーポンプ 150mm(幅)×427mm(奥行)×230mm(高さ)、約16kg

設置条件

電源 単相AC100~120V、50/60Hz、許容入力電圧変動10%以下、設備定格15A以上
最大消費電力 650VA
接地端子 D種接地(100Ω以下)
アルゴンガス *10 純度99.9999%以上推奨
使用圧力: 0.1~0.2MPa (1.0~2.0kgf/cm2) ホース接続口: JIS B 0203 Rc 1/4
室温 15~25°C
湿度 60%以下 (結露しないこと)

*1 工場出荷オプションです。
*2 1時間加工、Si換算、エッジ距離 100µm
*3 特許:第4557130号
*4 設定温度が高い程、冷却保持時間は長くなります。
*5 冷却機能と組み合わせて使用可能です。
*6 IB-11550LSRH使用
*7 特許:第4208658号
*8 IB-14510MCAMを装着すると、試料をリアルタイムでモニターすることができます。ミリング中の試料の状態を観察できます。外部モニターはお客様にてご用意ください。
*9 EC-10020VSTを装着すると、外部モニターにカメラ画面を出力することができます。外部モニターはお客様にてご用意ください。
*10 アルゴンガス, ガスボンベ, およびレギュレータはお客様にてご用意ください。
※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

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