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特長 STRONG POINT

IB-19520CCP 断面試料作製装置
加工時に試料を液体窒素冷却する事によりイオンビームによる熱ダメージを軽減させる事が出来ます。
冷却保持時間も長く、液体窒素の消費量を抑えた構造になっています。
液体窒素を入れたまま、短時間で試料の冷却、室温戻し、取り外しが可能です。
大気非曝露環境下で、加工から観察までを行う為の搬送機構が付いています。

IB-19520CCPの特長

  • 冷却の効果
    試料:亜鉛めっき鋼板

    通常加工(冷却なし)
    加速電圧4kV

    冷却加工(ホルダー温度-120℃)
    加速電圧4kV
    ※通常加工(冷却なし)の場合には鉄と亜鉛の界面に空隙が確認できますが冷却加工では空隙は見られません。
  • 温度調整機構(オプション)を用いた冷却
    試料:Siウエハ接着面

    通常加工(冷却なし)
    加速電圧 6kV

    冷却加工(ホルダー温度 -150℃)
    加速電圧 6kV

    温度調整冷却(ホルダー温度 -20℃)
    加速電圧 6kV
    ※通常加工では熱ダメージにより接着剤が変形し大きな隙間が出てきている。-150℃では過度な冷却となり接着剤とSiウエハラッピング面の界面に隙間が確認できるが、温度調整冷却では隙間が見えない。
  • 間欠加工、冷却機能、温度調整冷却機能の使い分けにより様々試料加工に対応

    熱の対策方法
  • 加工モニター機能
    断面加工状態をCCDカメラによりリアルタイムでモニタ可能です。
    倍率可変もできます。
  • 帯電防止コーティング機能
    イオンビームスパッタ機能をオプション準備。
    粒状性のよい薄いコーティングが可能です。
    EBSD等パターン認識を必要とするケースに最適です。
  • 平面イオンミリングホルダー
    試料に対して低角からイオンビームを照射して表面層の汚れ除去や平坦化を図る事が出来ます。
    また選択エッチングにも最適です。
  • 断面作製キット
    試料を回転させながらイオンビーム加工する為のキットです。
    平面イオンミリングホルダーに取り付けて使用します。
    多孔質材料、粉末、繊維等の加工スジが出てしまう様な試料の断面作製が可能です。

     

仕様 SPEC

イオン加速電圧 2 ~8kV
イオンビーム径 500μm以上(半値幅)
ミリングスピード 500μm/h (2時間の平均値、加速電圧:8 kV、Si換算、エッジ距離100μm)
試料ホルダー冷却到達温度 ‐120℃以下
試料冷却保持時間 8時間以上
冷媒タンク容量 約1リットル
最大搭載試料サイズ 11mm(幅)×8mm(奥行)×3mm(厚さ)
ステージ移動範囲 X軸 ±6mm、Y軸 ±2.5mm
試料固定法 クリップ方式
試料加工スイング ±30°(特許第4557130号)
加工観察用カメラ倍率 約20~100倍(6.5型ディスプレイ上)
大気非曝露機構 トランスファーベッセル方式
大気非曝露方法 チャンバー内をガス雰囲気にし、トランスファベッセルのキャップをして試料封入
操作法 タッチパネル、6.5形ディスプレイ
使用ガス アルゴンガス(マスフロコントローラーによる流量制御)
圧力測定 ペニング真空計
主排気装置 ターボ分子ポンプ
補助排気装置 ロータリーポンプ
寸法・質量 本体:約670mm(幅)×約720mm(奥行)×約530mm(高さ)、約73㎏
ロータリーポンプ:約150mm(幅)×約430mm(奥行)×約230mm(高さ)、約16㎏
オプション 大形試料回転ホルダー(IB‐11550LSRH)
マウントベース試料ホルダー(IB‐11560MBSH)
大形試料ホルダー(IB-11570LSH)
カーボンコーティングホルダー(IB-12510CCH)
 

設置条件

電源 単相100~120V±10%、50/60Hz、0.6KVA
接地端子 D種接地(100Ω以下)
アルゴンガス 使用圧力;0.15±0.05MPa(1.0~2.0㎏f/㎝2
純度99.9999%(アルゴンガス、ガスボンベ及びレギュレータはお客様準備)
ホース接続口;JISB0203Rc1/4
室温 15 ~ 25℃
湿度 60%以下

※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

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