IB-19520CCP 断面試料作製装置

IB-19520CCPの特長

• 冷却の効果

  試料：亜鉛めっき鋼板
  通常加工（冷却なし） 加速電圧4kV	冷却加工（ホルダー温度-120℃） 加速電圧4kV

  ※通常加工（冷却なし）の場合には鉄と亜鉛の界面に空隙が確認できますが冷却加工では空隙は見られません。
• 温度調整機構（オプション）を用いた冷却

  試料：Siウエハ接着面
  通常加工（冷却なし） 加速電圧　6ｋV	冷却加工（ホルダー温度 -150℃） 加速電圧　6kV	温度調整冷却（ホルダー温度 -20℃） 加速電圧　6ｋV

  ※通常加工では熱ダメージにより接着剤が変形し大きな隙間が出てきている。-150℃では過度な冷却となり接着剤とSiウエハラッピング面の界面に隙間が確認できるが、温度調整冷却では隙間が見えない。
• 間欠加工、冷却機能、温度調整冷却機能の使い分けにより様々試料加工に対応
  
  
• 加工モニター機能
  断面加工状態をCCDカメラによりリアルタイムでモニタ可能です。
  倍率可変もできます。
  
• 帯電防止コーティング機能
  イオンビームスパッタ機能をオプション準備。
  粒状性のよい薄いコーティングが可能です。
  EBSD等パターン認識を必要とするケースに最適です。
• 平面イオンミリングホルダー
  試料に対して低角からイオンビームを照射して表面層の汚れ除去や平坦化を図る事が出来ます。
  また選択エッチングにも最適です。
• 断面作製キット
  試料を回転させながらイオンビーム加工する為のキットです。
  平面イオンミリングホルダーに取り付けて使用します。
  多孔質材料、粉末、繊維等の加工スジが出てしまう様な試料の断面作製が可能です。